采用电子回旋共振微波等离子体增强的溅射沉积薄膜技术

利用高等离子体密度、高电子温度和高离化率的ECR微波等离子体增强二极溅射、磁控溅射反应沉积金属氨化物薄膜。实验结果表明，ECR微波等离子体具有降低薄膜沉积温度，提高薄膜沉积速率和改善薄膜质量的作用。特别是采用基片施加脉冲负偏压的ECR微波等离子体源离子增强反应磁控溅射沉积技术，设备成本低，工艺方法简单，可获得与离子束增强沉积（IBAD）相近的对薄膜结构和特性的改性作用，可制备高质量金属氢化物薄膜。     

制冷机环状阀片的氮离子注入改性

氮离子注入改性有效地增加长行程，高转速活塞式制冷压缩机环状阀片的使用寿命，提高了这类新型制冷机的可靠性。     

Er^3＋掺杂浓度对掺Er^3＋：TiO2粉末结构及其光致发光特性的影响

以钛酸正丁酯为前驱体，乙酰丙酮为络合剂，70℃下进行对前驱体改性的络合反应，获得改性前驱体Ti（O-Bu）4-x（AcAc）x．以异丙醇为溶剂，采用溶胶-凝胶（sol-gel）法制备0-3％（摩尔分数）Er^3＋掺杂TiO2粉末。差热-热重（DTA-TG）分析结果表明，掺1％（摩尔分数）Er^3＋：TiO2干凝胶粉末在烧结过程中，130-300℃之间出现两个放热峰，其余试样只出现一个放热峰，决定这一现象的结构因素同时也决定了材料中Er^3＋相对较高的分散度,X射线衍射（XRD）分析表明，700℃烧结所得的掺0-3％（摩尔分数）Er^3＋：TiO2粉末，当Er^3＋掺杂浓度为0．1％（摩尔分数）和1％（摩尔分数）时，粉末均为锐钛矿与金红石混合相，前者的金红石相衍射峰更明显；掺3％（摩尔分数）Er^3＋：TiO2粉末为单一锐钛矿相结构,700℃烧结，当Er^3＋掺杂浓度在0-1％（摩尔分数）范围内时，粉末PL强度随Er^3＋掺杂浓度提高而增强；继续增加Er^3＋掺杂浓度至3％（摩尔分数）过程中，粉末PL强度明显减弱。     

EYTO粉末的光致发光特性

以柠檬酸为络合剂、钛酸丁酯为前驱体,制备了Er3 掺杂浓度(摩尔分数)为0.1%-5.0%的(Er,Y)2Ti2O7(EYTO)粉末.在700℃烧结EYTO粉末中EYTO相的晶化不完全,随着烧结温度的升高晶化程度显著提高,-OH基团的含量逐渐减少;在1000℃烧结,得到结晶完全且不含-OH基团的EYTO相.不完全晶化的EYTO相的PL谱为半高宽112 nm的单一宽峰,结晶完全的EYTO相其PL谱为发生Stark分裂的分立发光峰.随着烧结温度的升高EYTO粉末的PL强度和荧光寿命连续提高,归因于粉末中-OH基团的逐步脱除和EYTO相晶化程度的提高;Er3 浓度在0.1%-1.5%区间均呈现上升趋势,源于EYTO相为Er3 提供了均匀分散;Er3 浓度为1.5%时均达到最大值、荧光寿命为20.9 ms.当Er3 浓度超过1.5%时,Er3 -Er3 间的交互作用增强导致1.53μm的PL强度和荧光寿命持续下降.     

Er离子注入Al2O3光波导薄膜的发光特性研究

采用溶胶-凝胶和离子注入复合工艺在氧化的Sio2/Si(100)基片上制备掺Er3+:Al2O3光学薄膜.900℃烧结,掺Er3+:Al2O3薄膜的相结构是γ-Al,Er)2O3和θ-(Al,Er)2O3的混合物.室温下测量不同注入剂量的掺Er3+:Al2O3光学薄膜的光致发光谱,均获得了中心波长为1.533 pm的发光曲线.900℃烧结制备掺EPr3+:Al23光学薄膜光致发光强度随着注入剂量从0.2×1016 cm-2增加到4×l016cm-2而逐渐增加.而1200℃烧结制备掺Er3+:Al2O3光学薄膜的光致发光强度随着掺杂浓度从0.2×1016 cm-2增加到4×1016grN-2先增加后减小.     

等离子体改性1Cr18Ni9Ti不锈钢钝化膜的耐蚀性

等离子体改性１Ｃｒ１８Ｎｉ９Ｔｉ不锈钢钝化膜的耐蚀性雷明凯，袁力江，孔常静，张仲麟（大连理工大学大连１１６０２４）电子回族共振（ＥＣＲ）微波等离子体具有高电子密度和离化率，低放电粒子溅射率及无极放电设计等优点［１－２］，为金属钝化膜的改性提供了有效和...     

深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格薄膜的结构和性能

分别采用深振荡磁控溅射(deep oscillation magnetron sputtering,DOMS)复合脉冲直流磁控溅射(pulsed dc magnetron sputtering,PDCMS)技术和单一的PDCMS技术,沉积厚度为2μm、调制周期为6.3 nm的Cr N/Ti N超晶格薄膜。利用XRD、SEM和TEM表征薄膜的结构。利用纳米压痕仪、划痕仪和空气电阻炉分别测试薄膜的力学性能、结合力和热稳定性。利用球-盘式摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦学性能。利用阳极极化实验测试薄膜在3.5%(质量分数)Na Cl溶液中腐蚀性能。研究表明,与单一的PDCMS技术相比,DOMS+PDCMS复合技术显著改善了Cr N/Ti N超晶格薄膜结构,薄膜具有更优异的力学性能、持久的耐磨减摩性和抗腐蚀性能。     

基于声压反射系数相位谱的涂层密度和纵波声速双参数反演

提出一种基于声阻抗测量,采用相关系数法对涂层的声压反射系数相位谱二元非线性方程进行双参数反演,同时确定涂层密度和纵波声速的方法。采用超声脉冲回波法,采集厚度为1.929mm铝板和厚度为0.2~0.5mm、掺杂质量百分比30%~50%铁粉的环氧树脂涂层的超声回波信号,在有效频带范围内采用相关系数法对试样理论和试验声压反射系数相位谱进行匹配分析,利用声阻抗条件约束相关系数矩阵,约束后的相关系数矩阵最大值对应的密度和纵波声速即为涂层的最优表征结果,纵波声速和密度的反演误差均在±3.2%以内。     

钢的等离子体基低能离子注入的传质机制

等离子体基低能离子注入是一种钢的低温,低压表面改性方法,它包括等离子体源离子渗氮和等离子体源离子渗碳两种工艺。等离子体基低能离子注入的主要传质机制是低能离子注入－同步热扩散,即在脉冲负偏压作用下的离子首先完成不依赖于工艺温度的低能离子注入,然后已注入的原子在较低的工艺温度上发生足够的热扩散,等离子体热扩散吸收具有补充的传质作用,但由于工艺温度较低,这种作用很小,连续的热扩散过程有利于改善注入吸收条     

强流脉冲离子束辐照金属Ti相变传热的数值分析

建立了强流脉冲离子束(HIPIB)辐照金属相变传热的理论模型．基于焓法发展的二维轴对称传热模型，考虑脉冲离子束源项的时间和空间分布，以及材料变热物性的影响，计算了能量密度为0．1—150J／cm^2，脉冲宽度为120ns的HIPIB辐照金属Ti的温度场．HIPIB辐照金属Ti发生熔化和烧蚀的临界能量密度分别为0．2和0．7J／cm^2．在脉冲辐照时间内、烧蚀深度单调增加，而液相层厚度呈先增加后减小、再增加的趋势．随着能量密度增加，最大烧蚀深度增加，150J／cm^2时可达29．25μm．最大液相层厚度则先增加后减小，80J／cm^2时最大液相层厚度为0．5μm．能量密度为70J／cm^2的HIPIB辐照金属Ti实验测定的烧蚀质量7．2mg与计算值大致相符。