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21.
用于二元光学器件制作的激光直写系统   总被引:4,自引:0,他引:4  
通过双远心成像光路,激光直写(LDW)系统SVG—LDW 04把液晶空间光调制器(LCD-SLM)上的光斑直接成像在光刻胶板上,得到高质量的光斑图形。放置在SLM的共轭面上的CCD成像调焦装置能够实时地在监控像面质量。控制SLM的输入图形、曝光量(刻蚀深度)及系统的运行方式,LDW系统能够制作不同特性的二元衍射光学元件。给出了典型的(2台阶、4台阶)位相衍射器件制作的实验结果。  相似文献   
22.
正上宽下窄的脸庞,一双炯亮的眼睛闪着慈祥的目光,这就是我记忆中的父亲。平日里,父亲爱穿一件深蓝色的中山装,上衣的小兜里总喜欢插一支亮闪闪的钢笔,显得格外精神。但好景不长,在我六岁那年,父亲因一次煤矿井下事故离开了我,离开了母亲,离开了这个平日里充满欢声笑语的家。说起父亲,还得从我记事开始说起。那时,父亲一个人在外工作,我和姐姐、哥哥、母亲一起住  相似文献   
23.
基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现   总被引:1,自引:0,他引:1  
提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形.此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果.  相似文献   
24.
支持亚波长结构光刻的紫外干涉光学头   总被引:1,自引:1,他引:0  
设计了351 nm紫外光条件下支持亚波长结构干涉光刻的光学透镜组,数值孔径达到0.46,支持双光束最大干涉角度55°,该光学头理论上能光刻的最小结构周期为400 nm.研制了采用熔石英位相光栅作为分束元件的干涉光学头,在351 nm波长下,光刻了周期为450 nm的点阵结构,得到了尺寸约200 nm的凸点结构,实验结果表明,该光学头具有支持亚波长周期结构光刻的功能,是一种亚波长结构器件制造的重要技术手段.  相似文献   
25.
一种微区微纳米压印技术及设备   总被引:2,自引:2,他引:0  
本文介绍了一种新型的分布微区微纳米压印技术。相比于传统的微纳米压印技术,本文所提出的压印主要技术特征在于,通过对尺寸在几十微米至数毫米范围的微小区域单元的压印组合,实现大幅面微纳米结构的制作。这种压印方式还具有的优点是,在计算机控制下压印模仁可在工作平面内旋转,各微区压印单元有不同的压印取向,压印力大小均可由程序设定,因而可以实现每个单元压印深度的控制。本文给出了微区微纳米压印技术的设计思想、实现方法以及实验结果。该技术和装备,特别适合大幅面光学衍射图像、平板显示器件的微结构制作。  相似文献   
26.
医疗卫生系统对风管在清洁度、防火性能、承压强度、密封性等方面提出了更高的要求,通过分析论证了酚醛彩钢复合洁净风管在医疗卫生系统中应用的可行性,对酚醛彩钢复合洁净风管与镀锌薄钢板风管在医院工程中的应用进行了对比,最后介绍了酚醛彩钢复合洁净风管在医院工程中应用需注意的事项。  相似文献   
27.
魏国军 《当代矿工》2013,(10):37-37
“严管干部,关爱职工,全心全意依靠职工办企业。”这是今年以来,同煤集团四老沟矿新一届党政领导班子铭记在心的一句话。近年来,该矿在大力推进民心工程建设中,积极改善职工的衣食住行条件,不断提高职工的幸福指数和满意度,营造了积极向上的发展氛围,唱响了一曲和谐发展的进行曲。  相似文献   
28.
正"阿姨,您辛苦了,谢谢您对我们的养育之恩,您给的爱,我们永远不会忘记,我们会好好生活、努力工作回报您和社会的。"2014年春节,陈建庄兄弟俩带着各自的妻子回养母郑薇芳家吃年夜饭时,老大陈建庄这样说。郑薇芳,大同煤矿集团四老沟矿离退中心副科长,在自家并不富裕的情况下,收养了陈建庄、陈建业两兄弟,并将他们抚养成人。  相似文献   
29.
提出了一种基于4f成像系统和衍射光栅结构的连续变频技术,利用该技术设计并制造了一套三维(3D)图像激光打印系统,可实现幅面为15cm×20cm的大视角(大于90°)、真彩色3D图像的激光打印输出。分析了3D图像中的变频结构特性,获得了变频结构参数的数学表达式。详细解析了连续变频结构的实现原理,推导了变频规律。通过实验证实了连续变频原理与输出系统的有效性,实现了彩色3D图像的激光打印输出。  相似文献   
30.
提出了一种采用并行激光直写技术的数字化全息透镜制作方法,先对离轴全息透镜进行理论模拟,得到条纹分布的数字图像,根据激光直写系统的光学参数,对生成的全息透镜模拟图像进行缩放处理,然后分块拼接曝光,实验得到了尺寸为3.1 mm×3.1 mm的正方形离轴全息透镜,最小条纹周期为1.1 μm,在532 nm激光照射下,透镜焦距为6.2 mm,最大空频处一级衍射光的衍射角为5.9°。本方法为制作全息透镜提供了一种有效地新方法。  相似文献   
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