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41.
Si基单片集成850nm光接收芯片研究   总被引:6,自引:4,他引:2  
设计并制备了一种Si基单片集成850nm光接收芯片,包括"P+/N-EPI/BN+"结构的光电探测器(PD)、跨阻前置放大电路及其后续处理电路。分析了PD的结构,并对其光谱响应及频率响应进行模拟,在2.0V偏压下,PD在850nm的响应度为0.131A/W,截止频率为400 MHz。采用0.5μm BCD(bipolar、CMOS和DMOS)工艺流片,光接收芯片面积约为900μm×1 100μm。测试结果表明,PD暗电流为pA量级,响应度为0.12A/W。光接收芯片在155 Mb/s速率及误码率(BER)小于10-9情况下,灵敏度为-12.0dBm;在622 Mb/s速率及BER小于10-9情况下,灵敏度为-10.0dBm,并能得到清晰的眼图。将该光接收芯片封装后接入光接收模块,进行点对点光互联实验,获得很好的光信号通路。  相似文献   
42.
MEMS F-P 干涉型压力传感器   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
为了满足工业、航天、国防等领域对微型化压力传感器的需求,提出了基于微机电系统(MEMS,Micro electromechanical System)技术制作的非本征型光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器,该传感器传感头由全玻璃材料构成。主要研究了MEMS 技术制作全玻璃结构式压力传感器工艺,结合溅射、光刻、腐蚀等工艺在7 740 wafer 基底上制作出F-P 腔体,利用低压化学气相沉积(LPCVD)的方法在基底上沉积一层40 nm 的非晶硅作为中间层。通过阳极键合技术在温度400℃下完成玻璃与玻璃的键合,并搭建了该传感器的压力测量平台。实验结果表明:在压力线性范围0~400 kPa 内传感器具有很高的重复性,达到0.3%。灵敏度达到1.764 nm/kPa;在传感器使用范围0~80℃内,热敏感系数为 0.15 nm/℃。该传感器的研究对设计制作改善了该类传感器的热膨胀失配问题,对低温漂型压力传感器的研究有一定参考价值。  相似文献   
43.
44.
激光洁牙图像采集与数据管理系统   总被引:1,自引:0,他引:1  
陈春华  黄元庆 《应用激光》2005,25(4):264-266
提要研制的激光洁牙图像采集与数据管理系统是采用Direct Show和数据库技术开发而成。系统能实时记录、显示洁牙过程,实现医疗资料的数字化管理。医疗人员通过观察系统显示屏方便地执行洁牙操作,保护了医疗人员眼睛免受激光伤害,解决了传统激光牙科器械无法为医疗纠纷提供原始医疗资料的问题。  相似文献   
45.
本文介绍了半导体,SHG与频率上转换三种全固化蓝光激光器的现状与发展趋势,并从理论上作了相应的分析。  相似文献   
46.
人工嗅觉系统是由气敏传感器阵列、信号处理和适当的模式识别方法组成的仪器,能模拟人的嗅觉来检测、识别复杂气味成分.本文介绍了人工嗅觉系统的发展历史,阐述了人工嗅觉系统的基本组成,详细介绍了人工嗅觉系统的研究现状及其在临床诊断中的应用,并展望了人工嗅觉系统在临床诊断中的发展趋势.  相似文献   
47.
MEMS封装技术   总被引:5,自引:1,他引:5  
介绍了微机电(MEMS)封装技术,包括晶片级封装、单芯片封装和多芯片封装、模块式封装与倒装焊3种很有前景的封装技术。指出了MEMS封装的几个可靠性问题,最后,对MEMS封装的发展趋势作了分析。  相似文献   
48.
虚拟现实(Virtual Reality,简称VR)基于传感技术及系统建模、辩识技术,利用计算机等设备对真实物理世界进行实时仿真和实时交互作用.沉浸感、交互性、多感知及自主性是VR主要的技术特征。VR是多学科交叉技术,是科学研究的强有力的崭新手段,VR技术应用开发中心的建设,必将促进包括机电工程系在内的许多相关学科的快速发展。 一、机电工程系的学科发展现状 曾经辉煌的机电工程系已经成为历史。1983年,厦门大学开办科学仪器系,主要研究方向为分析仪器。1998年在科仪系的基础上复办机电工程系。几年来,我系在教学、科研和学科建设等方面取得…  相似文献   
49.
激光在组织中传输的物理过程及临床意义   总被引:2,自引:1,他引:1  
近几年来,激光医疗迅猛发展,主要依靠激光与组织相互作用的深入定量研究和与之相应的组合激光器的研制成功。本文就激光与组织相互作用的一个重要方面,激光在组织中传输特性的物理过程及临床意义进行简述,希望能给临床工作者提供某些参数和资料  相似文献   
50.
激光加工中光束变换技术研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
激光光束形状和能量分布直接限定了激光加工的应用.为满足不同的激光加工要求,必须对激光光束进行光束变换.应用旋转棱镜和组合光学系统能够实现实心和环状光束之间的相互变换.从几何光学角度对旋转棱镜组合光学系统进行了理论分析和实验.通过调整正负旋转棱镜的间距d,荻取不同形状和能量分布的激光光束.实验结果表明,基于旋转棱镜组合光学系统的光束变换技术,有效地实现了多种形式的光束变换,提高了激光束的利用率,在激光k_T-领域中具有广泛的应用前景.  相似文献   
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