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41.
The c-axis preferred orientation of ZnO film is the most important factor for its successful application in piezoelectric devices. The effects of surface roughness of the substrate on the c-axis preferred orientation of ZnO thin films, deposited by radio frequency magnetron sputtering, were investigated. During sputtering, the oxygen content in the argon environment used was varied from 0 to 70% at a total sputtering pressure of 10 mTorr. Very smooth Si, smooth evaporated Au/Si, smooth evaporated-Al/Si, and rough sputtered-Al/Si were used as substrates. Their r.m.s. roughnesses, as measured by atomic force microscopy, were 1.27, 17.1, 21.1 and 65-118 Å, respectively. The crystalline structure and the angular spread of the (0 0* 2) plane normal to the ZnO films were determined using X-ray diffraction and X-ray rocking curves, respectively. The crystallinity and the preferred c-axis orientation of the ZnO films were strongly dependent on the surface roughness of the substrates rather than on the oxygen content of the working environment or on the chemical nature of the substrate. 相似文献
42.
以3D软件应用为中心的设计管理模式——PDS在配管设计中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
由PDS的特点入手,结合工程实践的应用情况,阐明了3D软件可以更广泛的应用于配管的设计中,强调了以3D模型为中心开展设计和管理的新模式. 相似文献
43.
44.
45.
甲烷无氧芳构化研究进展及其工业应用前景 总被引:5,自引:0,他引:5
综述了最近20多年来甲烷无氧芳构化催化剂的制备、积炭失活和再生方面的研究进展,特别分析了催化剂再生过程的工程化问题及反应器型式;还根据甲烷芳构化技术产业化的需要,分析了甲烷芳构化技术的发展趋势。 相似文献
46.
Low temperature wafer direct bonding 总被引:11,自引:0,他引:11
Qin-Yi Tong Cha G. Gafiteanu R. Gosele U. 《Journal of microelectromechanical systems》1994,3(1):29-35
A pronounced increase of interface energy of room temperature bonded hydrophilic Si/Si, Si/SiO2, and SiO2/SiO 2 wafers after storage in air at room temperature, 150°C for 10-400 h has been observed. The increased number of OH groups due to a reaction between water and the strained oxide and/or silicon at the interface at temperatures below 110°C and the formation of stronger siloxane bonds above 110°C appear to be the main mechanisms responsible for the increase in the interface energy. After prolonged storage, interface bubbles are detectable by an infrared camera at the Si/Si bonding seam. Desorbed hydrocarbons as well as hydrogen generated by a reaction of water with silicon appear to be the major contents in the bubbles. Design guidelines for low temperature wafer direct bonding technology are proposed 相似文献
47.
48.
高质量ZnO薄膜的退火性质研究 总被引:3,自引:0,他引:3
在LP-MOCVD中,我们利用Zn(C2H5)2作Zn源,CO2作氧源,在(0002)蓝宝石衬底上成功制备出皮c轴取向高度一致的ZnO薄膜,并对其进行500℃-800℃四个不同温度的退火。利用XRD、吸收谱、光致发光谱和AFM等手段研究了退火对ZnO晶体质量和光学性质的影响。退火后,(0002)ZnO的XRD衍射峰强度显著增强,c轴晶格常数变小,同时(0002)ZnOX射红衍射峰半高宽不断减小表明晶粒逐渐增大,这与AFM观察结果较一致。由透射谱拟合得到的光学带隙退火后变小,PL谱的带边发射则加强,并出现红移,蓝带发光被有效抑制,表明ZnO薄膜的质量得到提高。 相似文献
49.
50.
环保型隧道防火涂料的研究 总被引:2,自引:2,他引:0
介绍了国内外公路隧道、铁路隧道及地铁火灾情况 ,研制出一种可在潮湿环境中使用、火灾发生时无有害气体产生的环保型隧道防火涂料。涂层厚度 18~2 0 mm,耐火极限达 3小时。为防止涂料加水拌和后沉淀分层 ,增加涂料的和易性 ,研制出一种分散剂。 相似文献