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采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
72.
单片机中断多优先级的软件扩展方法 总被引:1,自引:0,他引:1
为了解决MCS-51系列单片机只能由IP寄存器设定两级优先级的问题 ,文中给出了利用软件对中断优先级进行扩展的方法 ,同时给出了高于两个优先级的多优先级软件扩展程序。 相似文献
73.
介绍如何利用AutoCAD开发适合电气专业使用的CAD系统,通过编制电气CAD的功能菜单,构造电气元件库,增强CAD的专业性能。编制电气CAD可以有效地统一本单位电气制图标准,方便电气工程师使用CAD进行专业设计。 相似文献
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79.
应用遗传算法设计和开发了针对爱立信GSM900系统的频率规划软件。在设计中,采用了交叉点存储、变异回退以及分割分步降维的方法,从而提高遗传算法的执行速度。 相似文献
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