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11.
Chao C.-J. Wong S.-C. Chen M.-J. Liew B.-K. 《Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on》1998,11(4):615-623
Interconnect parasitic parameters in integrated circuits have significant impact on circuit speed. An accurate monitoring of these parameters can help to improve interconnect performance during process development, provide information for circuit design, or give useful reference for circuit failure analysis. Existing extraction methods either are destructive (such as SEM measurement) or can determine only partial parasitic parameters (such as large capacitor measurement). In this paper, we present a new method for extracting interconnect parasitic parameters, which can simultaneously determine the interlayer and intralayer capacitances, line resistance, and effective line width. The method is based on two test patterns of the same structure with different dimensions. The structure consumes less wafer area than existing methods. The method shows good agreement with SEM measurement of dielectric thickness in both nonglobal planarized and chemical-mechanical polished processes, and gives accurate prediction of the process spread of a ring oscillator speed over a wafer 相似文献
12.
13.
为了提高E^2PROM中N管源漏穿通电压,用实验的方法对制造工艺进行了研究。结果表明,高能量注入是提高VPT的有效手段,但受到pn结击穿的限制,只适用于低区短沟N管;DDD工艺大幅度高VPT,但pn结击穿电压低于20V,不能应用于高压MOS管;采用适量的防穿通注入和适当增大沟道长度为最理想的工艺途径。 相似文献
14.
15.
Yang Chao Ding Yijie Meng Qiaozhen Tang Jijun Guo Fei 《Neural computing & applications》2021,33(17):11387-11399
Neural Computing and Applications - RNA-binding proteins play an important role in the biological process. However, the traditional experiment technology to predict RNA-binding residues is... 相似文献
16.
针对目前对高度表进行原位检测的需求,设计了一种新的高度模拟方法;该方法的实现以ARM为核心,通过高度模拟电路产生各种需要的高度电压信号,从而达到高度模拟的目的,并且无需对机载高度表进行拆装,操作简单、快捷、可靠性较高;实验结果表明,这种方法的高度模拟精度较高,具有一定的实用价值和经济效益. 相似文献
17.
混合溶剂对Ru(Ⅳ)萃取的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
一、前言 在一定浓度盐酸介质中,Ru(Ⅳ)以RuCl_6~(2-)络阴离子状态存在,可被C类溶剂TOA(三辛胺)以离子缔合机制定量地萃入有机相。由实验得到在相同条件下,TOA对Ru(Ⅳ)的萃取率随稀释剂介电常数的增加而下降。 相似文献
18.
针对雷达装备实践教学中演示式教学法对于学员能力的拓展和装备的综合运用等方面存在的问题,将岗位体验式教学法运用于雷达装备实践教学中.首先分析岗位体验式教学法的基本内涵;然后提出前期准备、场景设置、教学实施、交流研讨和总结讲评等5个方面的具体实施方法,进行实例分析;最后给出岗位体验式教学法的实施效果.教学实践结果验证了该方法的有效性. 相似文献
19.
针对超(超)临界机组不采用加氧处理,给水系统容易发生流动加速腐蚀(影响安全)、水冷壁结垢速率高(降低锅炉效率)、锅炉酸洗周期短(影响效益)、水冷壁节流孔堵塞(影响安全)、凝结水精处理运行周期短(影响节能减排)等实际问题,通过融合预测控制技术及自适应控制技术,提出了符合现代火电机组加氧工况要求的先进解决方案自动加氧装置.该技术通过研制加氧流量传感器,产生与氧气流量对应的电子信号,将与流量相关的电子信号送到PLC,与流量设定值进行比对,再调节氧气流量调节门,实现加氧量的精准控制,最终实现闭环控制,并能有效减少在稳定工况及升、降负荷过程中凝结水、给水氧量关键参数的波动,控制参数十分平稳,确保了大型火电机组的安全、稳定及高效运行. 相似文献
20.
介绍与冲天炉熔炼有关的几个问题的处理方法,包括:(1)如何防止熔化带以上耐火砖容易掉落;(2)如何防止过桥、出铁口易被侵蚀;(3)固定式前炉容量大小的选择;(4)如何保持浇包尺寸;(5)加料口材料选择:(6)要否使用热风炉胆;(7)孕育处理方法与孕育量;(8)灰铸铁的含硫量;(9)风口比。 相似文献