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本文讨论了用辉光放电法制备氮化硅薄膜时衬底温度、射频功率和气体流量比对薄膜的电导率、介电常数和击穿强度的影响。通过优化生长条件,制备了优质非晶氮化硅薄膜,其介电常数为7.5、击穿强度为5.5MV/cm、电导率为10-13(Ωcm)-1。 相似文献
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邵强 《石油化工安全环保技术》2007,23(6):51-55
阐述等离子体的概念、分类、特点和作用机理,从大气污染、水污染、固体废物治理三个方面简述在"三废"处理中各种等离子体技术的应用及特点,分析其存在的问题,展示了等离子体技术在环境保护中的应用前景. 相似文献
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东营市河口区坚持科学发展观,努力探索水利工程与生态环境协调发展的路子,认真编制流域综合规划,把生态环境保护融入到水利建设的各项环节之中。通过建立科学的技术支撑体系,实行公众参与,加强社会舆论监督;加强河道保护和管理,维护良好的河道治理开发秩序;加强水资源统一管理,建设节水防污型社会,在加强生态建设、改善生态环境等方面,取得了一定的成绩。 相似文献