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4H-SiC外延薄膜是加工高频、大功率电子电力器件的理想半导体材料,而使用不同斜切角的衬底进行外延生长的工艺不同.在1.2°小切角的4H-SiC离轴衬底上采用化学气相沉积(CVD)法生长同质外延薄膜.为了改善外延薄膜的表面形貌,对生长温度、原位表面处理和C/Si比这三个重要的生长参数进行了优化.利用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)观察外延薄膜的表面形貌,发现较高的生长温度和较低的C/Si比可以有效降低缺陷密度和表面粗糙度.在生长前使用硅烷气体进行原位表面处理可以有效减小外延薄膜表面的台阶聚束效应.低温光致发光测试表明生长的外延薄膜质量良好. 相似文献
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在NH3和O2的混合气氛下,采用激光分子束外延法(L-MBE)在SiO2/p-Si衬底上制备了氮掺杂ZnO薄膜.XRD分析表明ZnO薄膜掺入微量的氮后仍有很高的结晶质量和高度的c轴择优取向性,(0002)面摇摆曲线的半峰宽仅为1.89.在此基础上制备了以氮掺杂ZnO薄膜为沟道层、以SiO2为绝缘层的底栅式薄膜晶体管.电学测试表明该晶体管工作在n沟道增强模式,阈值电压为5.15V,电流开关比为104,电子的场迁移率达到2.66cm2/(V·s). 相似文献
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On the basis of the assumption that the human face belongs to a linear class, a multiple-deformation model is proposed to recover face shape from a few points on a single 2D image. Compared to the conventional methods, this study has the following advantages. First, the proposed modified 3D sparse deforming model is a noniterative approach that can compute global translation efficiently and accurately. Subsequently, the overfitting problem can be alleviated based on the proposed multiple deformation model. Finally, by keeping the main features, the texture generated is realistic. The comparison results show that this novel method outperforms the existing methods by using ground truth data and that realistic 3D faces can be recovered efficiently from a single photograph. 相似文献
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DX 2 0 0全固态数字化广播发射机是近年来我国广播系统引进美国哈里斯 (HARRIS)公司 80年代末发明并生产的新式广播发射机。其工程原理是对音频输入信号进行数字化处理 ,然后用数字化音频信号去控制射频功率放大器模块 (2 2 0块 )的导通数目多少 ,实现调频发射。因此 ,DX 2 0 0发射机对音频信号的数字化处理至关重要 ,而该机音频数字化处理中超音频三角波叠加和可编程只读存储器编码 ,对发射机的工作状态、技术指标起到重要的作用 ,下面我们只讨论该发射机这两部分的内容。1超音频三角波的叠加DX 2 0 0发射机三角波信号叠加在已被模拟… 相似文献
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从实验出发,用LPCVD外延系统在偏向<11-20>方向8°的4H-SiC(0001)Si面衬底上,利用CVD技术进行了4H-SiC同质外延生长。外延后在熔融KOH腐蚀液中进行腐蚀,使用SEM和光学显微镜表征方法探讨了CVD法4H-SiC同质外延中的位错、微管和孪晶等缺陷形貌,并分析其形成机理。 相似文献