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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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Nicholas Biery Marc De Graef Jack Beuth Rafel Raban Andrew Elliott Tresa M. Pollock Curt Austin 《Metallurgical and Materials Transactions A》2002,33(10):3127-3136
Tensile experiments have been performed on specimens of four different investment-cast TiAl-based alloys with variations in
casting conditions. The average ductilities obtained in these experiments vary between approximately 0.8 to 2.0 pct plastic
strain to failure in tension. By using the three-parameter form of the Weibull relation, with the 0.2 pct offset yield strength
as the minimum failure strength, the resulting variability in the data can be quantified and is found to be similar for those
alloys with similar microstructural scale (grain size). Large variations in lamellar volume fraction, segregation, and phase
distribution have a minor influence on property variability, compared to changes in the scale of the grain structure caused
by either variations in cooling rate during casting or the addition of grain refiners. 相似文献
46.
采用HF HNO3溶液化学腐蚀 ,在硅片上制备减反射效果优良的多孔硅太阳电池减反射膜 ,借助原子力显微镜 (AFM)和X光电子谱 (XPS)对其表面形貌和成分进行观察 ,发现该膜与电化学阳极腐蚀得到的多孔硅具有相似性 ,其主要成分为非化学配比的硅的氧化物SiOx(X <2 )。采用带积分球的光度分光计 ,测得形成多孔硅减反射膜后 ,硅片表面反射率大大下降 ,,在波长 330~ 80 0nm范围反射率只有 1 5~ 2 9%。研究指出这种强减反射作用 ,与多孔硅具有合适的折射率及其多孔特性的光陷阱作用有关 相似文献
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48.
Hannes Verlinde Martine De Cock Raymond Boute 《IEEE transactions on systems, man, and cybernetics. Part B, Cybernetics》2006,36(3):679-684
As opposed to quantitative association rule mining, fuzzy association rule mining is said to prevent the overestimation of boundary cases, as can be shown by small examples. Rule mining, however, becomes interesting in large databases, where the problem of boundary cases is less apparent and can be further suppressed by using sensible partitioning methods. A data-driven approach is used to investigate if there is a significant difference between quantitative and fuzzy association rules in large databases. The influence of the choice of a particular triangular norm in this respect is also examined. 相似文献
49.
用迭代法消除数字图像放大后的模糊 总被引:7,自引:3,他引:4
用迭代法对数字图像经过插值放大后产生的模糊问题进行了研究,把数字图像插值放大造成的模糊看成是点扩散函数与清晰图像卷积的结果,根据插值算法可以得到点扩散函数,由于数字图像解卷积是典型的解线性方程组的问题,用雅可比(Jacobi)迭代法得到了很好的结果。与频谱空间变换的方法相比,迭代法没有分母为0的问题和空间变换过程造成的舍入误差。 相似文献
50.
Summary The influence of draw ratio on macroscopic and crystallographic density of polyethylene with different initial morphologies, has been investigated by solid-state extrusion. An initial drop followed by an increase in macroscopic density as a function of draw ratio has been observed. Since precision X-ray measurements of unit cell parameters showed no variation of crystallographic density, it was concluded that plastic deformation of polyethylene upon drawing proceeds with a decrease of the degree of crystallinity. This was confirmed by differential scanning calorimetry. 相似文献