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Lada E.K. Jye-Chyi Lu Wilson J.R. 《Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on》2002,15(1):79-90
To detect faults in a time-dependent process, we apply a discrete wavelet transform (DWT) to several independently replicated data sets generated by that process. The DWT can capture irregular data patterns such as sharp "jumps" better than the Fourier transform and standard statistical procedures without adding much computational complexity. Our wavelet coefficient selection method effectively balances model parsimony against data reconstruction error. The few selected wavelet coefficients serve as the "reduced-size" data set to facilitate an efficient decision-making method in situations with potentially large-volume data sets. We develop a general procedure to detect process faults based on differences between the reduced-size data sets obtained from the nominal (in-control) process and from a new instance of the target process that must be tested for an out-of-control condition. The distribution of the test statistic is constructed first using normal distribution theory and then with a new resampling procedure called "reversed jackknifing" that does not require any restrictive distributional assumptions. A Monte Carlo study demonstrates the effectiveness of these procedures. Our methods successfully detect process faults for quadrupole mass spectrometry samples collected from a rapid thermal chemical vapor deposition process 相似文献
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秦山核电厂气载放射性释放的环境影响 总被引:3,自引:1,他引:2
本文评价了秦山核电厂气载放射性流出物对环境的影响。应用现场及风洞大气扩释实验结果和厂址周围的人口与食谱调查资料,估算了秦山核电厂在正常运行和事故条件下释放的气载放射性流出物对公众产生的个人有效剂量当量和集体有效剂量当量。计算结果表明,正常运行时厂址边界(0.5km)处的最大个人有效剂量当量为2.7×10~(-2)mSv/a,该剂量的大部分来自~(137)Cs 的食入(主要由地表湿沉积引起);80km 范围内的集体有效剂量当量为1.1人·Sv/a,归一化集体有效剂量当量为3.7人·Sv/GW(e)·a。文中还给出了事故情况下剂量估算结果。 相似文献
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Ping Liu Zheng-Fan Li Guo-Bing Han 《Electromagnetic Compatibility, IEEE Transactions on》2006,48(3):485-492
In this paper, the asymptotic waveform evaluation (AWE) technique is first applied to the conventional eigenmode expansion method for characterizing a power/ground (P/G) plane pair and analyzing the simultaneous switching noise on such plane pairs for printed circuit boards or multichip modules. The application of AWE avoids a large number of iterations in computing the impedance frequency response of a P/G plane pair structure and greatly reduces the computation time. Meanwhile, to obtain an accurate solution in an entire frequency range, we employ the complex frequency hopping technique which can help select multiple expansion points. In addition, the proposed approach can also be used to characterize the P/G plane pair structures with irregular shapes. Three examples demonstrate its high efficiency and good accuracy. 相似文献
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Frantz Rowe 《欧洲信息系统杂志》2006,15(3):244-248