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为了解决现有硅刻蚀工艺中存在的刻蚀质量等问题,采用激光加工技术和电化学加工技术相结合的工艺对硅进行了刻蚀,研究了该复合工艺的工艺特性。实验中采用248nm-KrF准分子激光作光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极n-Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,研究了激光电化学刻蚀Si的刻蚀孔的基本形貌,并对横向刻蚀和背面冲击等质量问题进行了分析。结果表明,该工艺刻蚀的孔表面质量好、垂直度高;解决了碱液中Si各向异性刻蚀的自停止问题,具有加工大深宽比微结构的能力;也具有不需光刻显影就能进行图形加工的优越性。 相似文献
962.
963.
964.
关联规则挖掘AprioriTid算法优化研究 总被引:19,自引:0,他引:19
提出了一种基于事务压缩和项目压缩的AprioriTid优化算法。该算法的特点是:项目集采用关键字识别,同时对事务数据进行事务和项目压缩。从而省去了Apriori算法和AprioriTid算法中的剪枝和模式匹配步骤,减小了扫描事务数据库的大小,提高了发现规则的效率。通过实验表明,优化的算法执行效率明显优于AprioriTid算法。 相似文献
965.
966.
967.
等值面抽取技术在超声探头声场模拟中的应用 总被引:1,自引:1,他引:0
为了更好地研究超声波声场,提出了以等值面方式来表现超声探头的声场分布;运用并改进了经典的MC(Marching Cubes)算法得出了圆盘和矩形两种超声探头声源的三维声场等值面描述.实验表明改进后的算法能获得较好的效果. 相似文献
968.
969.
根据积分的近似计算模型,结合计算机语言建模与程序编写的方法,用计算机程序模拟计算周期信号的傅立叶级数,并应用Matlab实现仿真。这种模拟计算与仿真使得复杂的数学计算问题可视化、简单化。 相似文献
970.
随着网格技术广泛应用到各个领域,由功能服务组装复杂应用系统是目前采用网格技术来解决各领域问题的主要方法。本文提出一种多服务组装的层次体系结构HGSDR,在这种体系结构中,网格门户仅仅与用户交互,各功能服务的调度及各服务之间的协同主要由各分布的引擎服务节点来协同控制完成。各引擎服务负责动态发现和选择性能最优的紧邻后续服务节点,协同控制整个系统的执行过程。不仅消除了集中调度的计算瓶颈,同时也提高了系统组装的可靠性和灵活性。 相似文献