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提出了包含三步式排泡过程的预烧结工艺以及双凹凼-凸台的微复合键合结构方案,以便有效控制玻璃浆料层中的孔洞生成并精确控制键合间隙。预烧结工艺涉及的三步式排泡包含玻璃液形成、真空排泡与孔洞流平3个过程,该过程有效地排除了气泡,从而抑制了键合中间层中的孔洞形成,其工艺的重复性和鲁棒性很强。微复合键合结构中的内外凹凼用于有效控制多余的熔融的玻璃浆料的流动路径,避免其对封装结构的污染;微阻挡凸台则可以精确地将玻璃浆料层的厚度即键合间隙控制到凸台高度。对键合性能的测试表明,该方案简单有效,键合强度和气密性良好,键合间隙为10.1μm,键合强度为19.07 MPa,键合漏率小于5×10-9 Pa·m3/s。 相似文献
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微机械振动陀螺的耦合误差和隔离耦合的结构设计 总被引:2,自引:0,他引:2
微机械振动陀螺是近几年发展起来的新型惯性元件,其误差源主要有微机械结构的Brownian噪声,电路噪声,机械耦合误差及电子机械耦合误差等,这些误差严重影响陀螺仪的精度。本文提出了单级隔离耦合和双级隔离耦合的结构方案,有效减小机械耦合误差,提高精度。 相似文献
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对过盈配合及热膨胀量之差在辊环中产生的应力进行了弹性力学分析,并从应力及经济角度对目前高速线材生产厂家所使用的几种辊环装配形式进行了比较。认为,采用粘接式组合辊环不但可节省硬质合金材料,而且改善了辊环的应力分布,提高了辊环的使用寿命。建议在生产中使用此种形式的辊环。 相似文献