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纳米压印光刻工艺的研究进展和技术挑战 总被引:1,自引:0,他引:1
丁玉成 《青岛理工大学学报》2010,31(1):9-15
图形化技术是微纳制造过程的核心工艺之一.目前,作为微纳加工主流工艺的光学光刻技术由于受曝光波长衍射极限的物理限制,其技术复杂性和设备制造成本大幅增加.纳米压印将传统的模板复型原理应用到微观制造领域,以其高分辨率、高效率、低成本和工艺过程简单的特点,引起了各国研究人员的广泛关注.作为一种接触式几何约束流变成形方式,纳米压印必然衍生出许多新的挑战性问题.在阐述纳米压印工艺构成要素的基础上,对目前的若干主要压印技术工艺变种进行了简要综述,总结出了纳米压印所涉及的基本理论问题,并对纳米压印在集成电路制造中所面临的挑战进行了分析. 相似文献
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蝙蝠算法(BA)是一类新型的搜索全局最优解的随机优化算法,但是标准的蝙蝠算法存在着寻优精度不高、后期收敛速度慢、易陷入局部最优等问题。针对这些问题,提出了一种基于遗传交叉因子的改进的蝙蝠算法(GHBA),从而提高蝙蝠算法的多样性,避免种群个体陷入局部最优,增强算法全局寻优能力。在MATLAB环境下,运用6个标准测试函数进行实验仿真。结果表明,与BA算法相比,该算法(GHBA)的收敛速度及精度均有明显提高。 相似文献
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冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制 总被引:7,自引:0,他引:7
冷压印光刻工艺是一种将模板图形翻制到硅片上的技术。为了获得高分辨率压印图形,为压印光刻机设计了一个精密定位工作台。精密定位工作台是压印光刻机的关键部件,它既能够保证模板-抗蚀剂-硅片结构间的接触均匀一致,并实现模板与承片台间的三个运动自由度,即沿z轴的直线运动和绕x、y轴的旋转运动(α和β),又可以实现步进对准所需要的沿x、y轴的直线运动和绕z轴的旋转运动(θ)。设计中采用了柔性机械结构,消除了使用铰链连接所引起的间隙与摩擦等问题。压印实验结果显示定位系统在200mm的行程中,精密定位工作台定位精度达到8nm以内。实现了压印光刻工艺在集成电路制造中的高精度定位要求。 相似文献
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本文阐述了快速反求、快速成型技术在新产品设计开发及生产准备过程中的应用,提出了基于快速反求、CAD、快速成型技术的集成式产品设计开发及快速制造系统。 相似文献
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主料:长茄子两个,各约重250克,长约20厘米;圆茄子1000克左右。 配料:白蛋糕100克,红绿樱桃各两粒,油炸细粉丝4根,鹌鹑蛋1个,鸡蛋2个,肥肉片50克,炸干辣椒2个,面粉100克。 调料:清油1500克(实耗100克),猪油20克,麻辣油20克,番茄酱25克,白糖60克,米醋半汤勺,葱姜蒜末各15克,清汤250克,淀粉、精盐、生抽、胡椒粉各适量。 相似文献