Helium Plasma Damage of Low-k Carbon Doped Silica Film: the Effect of Si Dangling Bonds on the Dielectric Constant

The low-k carbon doped silica film has been modified by radio frequency helium plasma at 5 Pa pressure and 80 W power with subsequent XPS, FTIR and optical emission spec- troscopy analysis. XPS data indicate that helium ions have broken Si-C bonds, leading to Si-C scission with C（1s） lost seriously. The Si（2p）, O（ls）, peak obviously shifted to higher binding en- ergies, indicating an increasingly oxidized Si（2p）. FTIR data also show that the silanol formation increased with longer exposure time up to a week. Contrarily, the CHa stretch, Si-C stretching bond and the ratio of the Si-O-Si cage and Si-O-Si network peak sharply decreased upon exposure to helium plasma. The OES result indicates that monovalent helium ions in plasma play a key role in damaging carbon doped silica film. So it can be concluded that the monovalent helium ions besides VUV photons can break the weak Si-C bonds to create Si dangling bonds and free methyl radicals, and the latter easily reacts with O_2 from the atmosphere to generate CO_2 and H_2O. The bonds change is due to the Si dangling bonds combining with H_2O, thereby, increasing the dielectric constant k value.     

带射流收缩通道内部换热特性数值模拟

采用数值模拟的方法对简化后的燃气涡轮发动机进气道支板内部换热特性进行三维数值模拟,具体通过对带射流收缩型通道内部的流场结构和换热分布进行研究来揭示其内部换热机理,并与采用热色液晶全面表面瞬态测量技术测得的换热实验结果进行对比,从而验证计算方法的可行性.研究结果表明:射流在通道内呈现对涡结构流动,矩形出气缝的位置对通道内部流动和换热特性影响较大,换热计算结果与实验测量结果基本吻合,所用的数值模拟方法较为真实的预测了带射流收缩型通道内部的换热特性.     

触摸屏和PLC在钻井船输灰监测系统中的应用

将PLC和触摸屏应用于钻井船输灰监测系统,对灰罐工作原理、PLC硬件配置、网络组态和触摸屏主要界面进行了介绍.     

塑性变形中晶粒变形与细化机制的影响因素

讨论了层错能、应变速率和变形温度等因素在塑性变形制备超细晶/纳米晶材料的变形过程中,对变形机制与晶粒细化机制的影响.研究表明,随着层错能的降低,晶粒的变形机制会由位错滑移向机械孪生转变,有利于晶粒的细化.应变速率的增加与变形温度的降低有利于抑制位错动态回复、增加流变应力,促使晶粒进一步细化.     

家电塑料再生技术和再生利用技术的研究进展

家电塑料的再生利用技术与一般塑料再生利用技术并无本质上的区别,其特点在于回收家电塑料需要进行拆卸、分类等前处理.因此,家电再生利用技术是家电塑料回收技术的重要组成部分.本文介绍了当前一些先进的科学研究与回收再生手段,阐述了废旧家电再生技术和再生利用技术.     

建筑施工现场安全综合评价研究

本文对建筑施工现场安全综合评价进行了具体研究,论述了施工现场安全评价技术。与此同时,结合建筑行业的特点,运用管理理论中的层次分析法以及模糊评价方法,对建筑施工现场的安全评价措施做了探讨。     

薏米和荞麦营养食品

以营养价值高的薏米和荞麦为原料,添加糯米糕与米曲,可以加工健康食品。其制造工艺如下:     

群件系统Lotus Notes及其特色

群件系统ＬｏｔｕｓＮｏｔｅｓ及其特色汤庸，郭炼纯ＬｏｔｕｓＮｏｔｅｓ是一个面向文档的数据库管理系统（ＤｏｃｕｍｅｎｔＯｒｉｅｎｔｅｄ），是一个用来在网络上开发群件应用程序（ｇｒｏｕｐｗａｒｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ）的客户机／服务器平台。ＬｏｔｕｓＮｏ...     

创建网上电子杂志--Linux系统中自动电子邮件列表服务器的安装和配置

本刊在《自动管理的电子邮件列表及其在教学中的应用》一文(载《信息技术教育》杂志2003年第8期)中介绍了自动管理的电子函递名单(邮件列表)的相关知识与教学应用,本期继续刊登在Linux系统中建立与配置Majordomo系统及其中电子邮件列表的方法,以飨读者。     

父子路

天下的路，林林总总，万万千千。通衢大道，蜿蜒小径，特色纷呈，各领风骚。但与我朝夕相伴、令我魂牵梦萦的还是由我祖母命名的这条努敏河畔的“父子路”。不知走过多少次了，从蹒跚学步，到爷爷退休我和爸爸去测流。只有断面的明眸数得清，只有浪花的聪耳查得明。我爱这条平凡无闻的父子路。我熟悉它的每一道弯，了解它的每一个坎，更认识它两旁的每一株钻天杨、每一棵低垂柳。这是一条细窄的傍河小径，一面是随风泛浪的奔腾河水，一面是透过树隙窗棂映现的春绿秋黄、色彩斑谰的田野。记得孩提时，每当爷爷和爸爸去断面测流，我总是一路淘气地跟在后面。有时因我贪玩要误测时间，爸爸便背起我跑，有时我任性，爷爷和爸爸便把我一个人丢在路上。起初我哭着、喊着、追赶着，可渐渐地我不再哭闹了——路边青草、野花好象有了灵气，它们向我招手，向我微笑；草丛中的蝈蝈、蛐蛐为我放声歌唱；轻灵飞舞的蜻蜓在我头上盘旋……我忘情了，破涕为笑，贪婪地向大自然搜寻着孩童的乐趣。草随春生，人随岁长。上学了，我便不再贪耍缠着爷爷、爸爸了，用母亲的话说是“懂事了”。不过，不知为什么，我还是常到这条小路上来，坐在河边，望着粼粼河面，听着清脆、美妙的潺潺水声。记不清从何时起，我对爷爷和爸爸从事...