Cu电极保护膜层氧化铝的原子层沉积工艺研究

介绍了硅功率器件Cu电极保护钝化膜层氧化铝的制备方法。采用热法ALD工艺和等离子增强ALD工艺在铜上沉积氧化铝薄膜,研究了不同ALD工艺、氧化剂种类、沉积温度和载气对氧化铝膜层质量及铜抗氧化保护效果的影响。结果表明：氧化剂对原子层沉积氧化铝薄膜的质量和铜电极的保护性能起着决定性作用;以臭氧(O₃)作为氧化剂,氧化铝薄膜极易脱落,与铜表面的结合力很差;以氧等离子体(O-)作为氧化剂,铜表面被氧化形成了氧化铜(CuO_x)层;而以水蒸气(H₂O)作为氧化剂,在低温100℃下,得到的Al₂O₃薄膜致密,无明显缺陷,且与铜金属层的结合力较优,对铜抗氧化保护效果良好;当沉积温度高于200℃时,原子层沉积氧化铝薄膜的缺陷明显增多;等离子增强ALD工艺中,当载气为Ar时,所得氧化铝膜厚度不均匀,铜电极发生强烈氧化。     

十二烷基葡糖苷的合成与性能研究

在催化剂存在下,采用双醇交换法合成了新型淀粉基表面活性剂十二烷基葡糖苷,确定了合成反应条件,产物收率≥９３％。性能测试结果表明,十二烷基葡糖苷具有表面张力低、性能温和、起泡和润湿性优良等特点,是一种新型的非离子表面活性剂。     

基于聚类和一致Hash的数据布局算法

如何有效地对数据进行布局是大规模网络存储系统面临的重大挑战,需要一种能够自适应存储规模变化、公平有效的数据布局算法.提出的CCHDP(clustering-based and consistent hashing-aware data placement)算法将聚类算法与一致hash方法相结合,引入少量的虚拟设备,极大地减少了存储空间.理论和实验证明,CCHDP算法可以按照设备的权重公平地分布数据,自适应存储设备的增加和删除,在存储规模发生变化时迁移最少的数据量,并且可以快速地定位数据,对存储空间的消耗较少.     

一盏灯的视野

当工业通过设计来美化生活,当艺术正在与社会经济紧密靠拢,对设计的运用无处不在地渗透到我们的日常生活之中。设计的艺术化被看作是“科技、认知科学、人类需求和美学相结合”的综合艺术,设计正在打破由理论话语所构筑的艺术与实用之间简单而模糊的对立关系。无处不在的设计概念从单一领域中拓展开来,越来越多的日常设讲中出原来狭隘的设计定义,摆出一副将功能性与美学置换的全新姿态。     

基于CPSO的二维Otsu图像分割法

二维Otsu方法同时考虑了图像的灰度信息和像素问的空间邻域信息,图像分割效果好但算法计算量较大。针对上述情况,提出一种基于混沌粒子群优化算法（CPSO）的策略,将其用于二维Otsu方法中,并与标准粒子群优化算法（SPSO）进行仿真实验对比。实验结果表明,该方法可以提高分割速度,克服SPSO的缺点,图像分割结果较理想。     

基于LabVIEW的多数据采集器自动监控软件设计与开发

数据采集器作为飞机训练用设备,实现对载机飞行、目标探测、电子对抗、武器控制和飞行员操控等数据的实时采集,其性能指标一直是关键的验收指标。在人力成本逐渐增大、自动化信息产业高速发展的时代下,自动测量系统成为测量测试领域的重要角色,它可实现整个实验过程的自动监控和测试数据的自动存储。为了最大限度的满足采集器的批量生产与测试,本文基于LabVIEW平台,通过1553B总线和RS422总线实现数据传输,设计多数据采集器自动监控软件。试验证明,软件操作简单、运行稳定,最多可同时对8台数据采集器进行测试。     

基于WebGIS的一维水质模型实现

辽河流域是国家水污染防治重点流域.以辽河流域的主要支流蒲河作为理论研究基础,通过对蒲河流域的基本数据提取及信息采集,基于WebGIS技术采用一维水质模型实现了蒲河流域的水环境容量计算,并进行了蒲河流域的排污许可分配及分配方案模拟.     

磁控位移传感器设计与开发

液压支架是综采工作面的主要设备,其推移位置的准确性决定着采煤工作是否能够正常进行。通常液压支架的推移由推移油缸来完成。为了准确测量其推移位置,本文设计并开发了一种用于液压支架推移油缸的磁控位移传感器。基于磁环控制测量杆内干簧管通断的原理,就可以将位移转变成电压信号。改变磁环的位置,相对应的干簧管导通,输出电压随之改变。传感器量程为100cm,相对误差为0.8%,线性度约为0.0958%,输出电压波动范围为±0.001V。实验室和现场试验结果表明：磁控位移传感器运行稳定,测量精度高,满足了综采工作面液压支架位移的测量要求。     

钢丝绳芯输送带全断面实时透视仪在成庄矿的应用

钢丝绳芯输送带全断面实时透视仪是当前国内外较为先进的设备 ,能一次监测输送带的全部钢丝绳芯 ,并能进行接头伸长和强度计算及合理的数据库管理 ,还具有多媒体功能 ,有效地保证了该类输送带的安全生产     

一种新型的插补方法--自动过象限卡诺图最小偏差法

数据系统各种插补方法中,最小偏差法是脉冲增量方法中精度最高、运算速度最快的插补方法。本文提出一种新的最小偏差法--改进的卡诺图自动过象限最小偏差法。