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膜厚对多晶硅纳米薄膜压阻温度特性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
重掺杂多晶硅纳米薄膜具有良好的压阻温度特性,用它制作高温压阻式传感器灵敏度高、成本低,具有广阔的应用前景.为优化多晶硅纳米薄膜的压阻温度特性,本文采用低压化学气相淀积(LPCVD)技术制作了不同膜厚(30~250 nm)的多晶硅薄膜,分别测试了应变系数、薄膜电阻率与工作温度的关系.利用扫描电镜(SEM)和X射线衍射实验(XRD)对薄膜进行了表征,在此基础上结合隧道压阻模型分析了膜厚对多晶硅薄膜压阻温度特性的影响,结果表明,对于淀积温度620℃、掺杂浓度2.3×1020 cm-3的多晶硅纳米薄膜,膜厚的最佳值在80 nm厚左右. 相似文献
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不同淀积温度多晶硅纳米薄膜的压阻特性 总被引:3,自引:0,他引:3
重掺杂多晶硅纳米薄膜具有较大的应变系数和良好的温度特性,是制作力学量传感器的理想压阻材料.为优化多晶硅纳米薄膜的压阻特性,就淀积温度对低压化学气相淀积多晶硅纳米薄膜的压阻特性的影响进行了实验研究.在扫描电镜观测和X射线衍射实验基础上,利用隧道压阻模型分析了薄膜结构和压阻特性的关系.结果表明薄膜结构对应变系数的影响非常显著,但对应变系数的温度特性影响却很小.综合淀积温度对压阻特性和电导特性的影响,多晶硅纳米薄膜的最佳淀积温度在620℃左右. 相似文献
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RFID技术及应用越来越广泛,但由于成本较高,还存在一些安全隐患的原因,使RFID的应用受到了一些限制。文章分析了RFID系统存在的安全隐患和实现RFID安全机制常采用的方法,提出前人解决方案中存在的问题,给出了解决RFID系统中的安全隐患的方法。 相似文献
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本文叙述了由单板机构成的图象输入输出系统。输入系统是在 DJB-Z80单板机的基础上进行扩展,增加硬件电路。可将摄象机的全电视数字化并存入内存。该图象数据可传送到输出显示系统或其它计算机,输出显示系统是以 MEK 6800D2单板机经扩展构成,可利用普通电视机显示128×128象素点的图象。它可与输入系统的计算机或其它图象处理系统相连接,用以进行图象显示。 相似文献
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以山西省新原高速公路第三合同段白草口Ⅰ号特大桥主墩及悬臂现浇箱梁为例,对于高强度、可泵性的混凝土配合比设计进行探讨。 相似文献
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本文基于工程认证的基本理念和思想,从课程目标出发,以支撑毕业要求指标点为导向,基于逆向设计思维,从课程目标、教学活动与评价标准等方面进行了细致、完善课程的设计,一方面发挥单片机原理其核心课程的作用,扩展和外延课程功能和作用,实现学生工程综合素质和能力的提升;另一方面精准定位单片机原理课程目标,实现对毕业要求中多个指标点的强支撑。课程的改革和建设旨在进一步加强专业核心课程在认证指标点中的强支撑作用,充分体现电子信息工程类专业核心课程的地位,并为本专业其它核心课程的教学改革提供参考。 相似文献