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1983年 | 3篇 |
1982年 | 1篇 |
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11.
美国化工学会1982年年会于1982年11月14日至19日在美国加利福尼亚州洛杉矶市举行。这是一个大型的论文报告会,收到论文共700多篇,除部分在大会分发外,分别分成约100个专题组举行报告,并举行讨论会六场。专题组涉及的面很广,从高聚物的聚合、流变学、结构、高聚物中的扩散和传热、自动控制、系统工程和动态过程、计算机模型和模拟、最佳化、应用数学、化工反 相似文献
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文章将ICP刻蚀技术应用于刻蚀HgCdTe,使用微区X射线光电子光谱学(XPS) 、扫描电子显微镜( SEM)等表面分析技术研究了ICP各工艺参数,包括ICP功率、气体成分与配比、腔体压力等对刻蚀表面形貌、刻蚀后表面成分、聚合物形成的影响。XPS分析结果发现,使用光刻胶作掩模时,刻蚀气体CH4 会与光刻胶发生反应,生成物可能为C6H5 (CH3 ) 。如果腔体压力较高,生成物不能及时被带走,就会附着在样品表面上,使样品表面发黑;当腔体压力较低时,生成物被及时带走,则样品表面光亮,无聚合物残留。光刻胶也会与H2 发生反应,生成多种含C有机物。SiO2 作掩模时,在一定的条件下, CH4 会与SiO2 或者真空硅脂发生反应,生成聚脂薄膜。 相似文献
14.
128×128短波/中波双色红外焦平面探测器 总被引:2,自引:2,他引:0
首次在国内报道了128×128面阵短波/中波(SW/MW)双色碲镉汞(HgCdTe)红外焦平面探测器(infraredfocal plane arrays,IRFPAs)的研究成果.基于由采用分子束外延(MBE)和原位掺杂技术生长的p-p-P-N型碲镉汞(Hg1-xCdxTe)多层异质结材料,通过B+注入、台面腐蚀、台面侧向钝化和爬坡金属化,以及双色探测芯片与读出电路(Readout Integrated Circuit,ROIC)混成互连等工艺,得到了128×128面阵双色焦平面探测器.通过湿化学腐蚀方法的优化,将光敏元尺寸为(50×50)μm2的双色微台面探测器的占空比提高了一倍.该面阵双色红外焦平面探测器具有较好的均匀性和正常的光电特性.在液氮温度下,二个波段的光电二极管截止波长λc分别为2.7μm和4.9μm,对应的峰值探测率Dλ*p分别为1.42×1011cmHz1/2/W和2.15×1011cmHz1/2/W. 相似文献
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首次在国内报道了128×128面阵短波/中波(SW/MW)双色碲镉汞(HgCdTe)红外焦平面探测器(infrared focal plane arrays, IRFPAs)的研究成果.基于由采用分子束外延(MBE)和原位掺杂技术生长的ppPN型碲镉汞(Hg1-xCdxTe)多层异质结材料,通过B+注入、台面腐蚀、台面侧向钝化和爬坡金属化,以及双色探测芯片与读出电路(Readout Integrated Circuit,ROIC)混成互连等工艺,得到了128×128面阵双色焦平面探测器.通过湿化学腐蚀方法的优化,将光敏元尺寸为(50×50)μm2的双色微台面探测器的占空比提高了一倍.该面阵双色红外焦平面探测器具有较好的均匀性和正常的光电特性.在液氮温度下,二个波段的光电二极管截止波长λc分别为2.7μm和4.9μm,对应的峰值探测率D*λp分别为1.42×1011cmHz1/2/W和2.15×1011 cmHz1/2/W. 相似文献
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本文对葡萄糖果糖在沸石分子筛以及离子交换树脂上的吸附相平衡和动力学进行研究,提出了吸附相平衡基本关系式以及不等式判别式,前者用于判断实际体系的相平衡基本关系,后者可在一定范围内判别理论公式以及其它经验、半经验公式用于实际体系的准确性,还提出了计算吸附和解吸讨程中的总传质系数的公式和方法。 相似文献
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研究伽马辐射对基于掺铒光子晶体光纤超荧光光源输出特性的影响.对比基于掺铒光子晶体光纤和传统掺铒光纤超荧光光纤光源.分别将这两套光源的掺铒光纤部分置于伽马辐射环境中,研究不同辐射剂量对光源输出功率和平均波长的影响,测试辐射结束后光源的恢复情况.结果表明,两种掺铒光纤的辐射效应所引起的超荧光光纤光源性能退化基本相近,但相比传统掺铒光纤,掺铒光子晶体光纤具有更好的恢复特性,在空间领域应用具有潜在优势. 相似文献