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0.1 um光刻机硅片台在扫描曝光过程中要求纳米级的轨迹精度,采用直线电机承担大行程粗动控制和洛沦磁电机承担高精度微动控制的复合运动能满足要求.为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的位置控制精度.介绍了高精度永磁直线交流同步电机的IP位置控制算法,提出采用最优预测前馈补偿,提高实时跟踪性能,增强抗干扰能力,以满足直线电机的高速度高精度位置控制要求. 相似文献
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深入分析了实际应用的一种数据采集系统的信号 ,并进行了模拟滤波和数字滤波处理。实验结果表明 ,经过两种滤波以后基本能够消除外界干扰信号的影响。 相似文献
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本文提出了一种基于1-D(一维)孔列的T形检具和利用人检测普通精度数控机床的基本原理和方法,并同了计算各原始误差各项的表达式,所介绍的检测方法可推广应用于数控机床的误差补偿。 相似文献