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51.
用于垂直腔面发射激光器的GaAs/AlGaAs的ICP刻蚀工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备对应用于垂直腔面发射激光器的GaAs/AlGaAs材料进行刻蚀工艺研究。该刻蚀实验采用光刻胶作为刻蚀掩模,Cl2/BCl3作为刻蚀工艺气体,通过实验分析总结了ICP源功率、射频偏压功率和腔体压强对GaAs/AlGaAs材料和掩模刻蚀速率的影响。利用扫描电子显微镜观察不同参数条件对样品侧壁垂直度和底部平坦度的影响。最终在保证高刻蚀速率的前提下,通过调整优化各工艺参数,得到了侧壁光滑、底部平坦的圆台结构。 相似文献
52.
采用防护热板法测试了一种低密度莫来石在150~500℃的导热系数,分析了测试温度、压力、试样厚度、设定温差等测试参数对测试结果的影响,在此基础上拟合得到了3组该低密度莫来石导热系数的计算模型,并根据实际测试结果对3组计算模型分别进行了验证。结果表明:该低密度莫来石试样的导热系数随测试温度的升高而升高,温度-压力、温度-温差的计算模型在所选温度范围内的相对偏差小于5%,温度-厚度的计算模型在所选温度范围内的相对偏差小于10%。 相似文献
53.
54.
55.
目的 回顾分析先天性心脏病体外循环(CPB)意外事件的原因和处理对策.方法 对10例先天性心脏病患儿在体外循环下行心内直视手术(常温、浅低温3例,中低温5例,深低温顺行脑灌2例),1∶4冷含血心脏停搏液灌注.采用进口心肺机、进口膜式氧合器、国产动脉微栓过滤器.结果 操作意外8例(80%),其中因灌注心脏停搏液进气1例,安装体外膜式氧合(ECMO);电脑故障2例(20%).除操作意外致1例死亡外,余均安全出院,均未出现与体外循环相关的并发症.结论 注重体外质量控制、定期检测校准机器、提高灌注师的责任性和手术台上下的沟通是提高小儿体外循环灌注安全性的关键. 相似文献
56.
利用等离子烧蚀试验系统,对纤维增强酚醛树脂复合材料进行烧蚀试验,并对不同复合材料的烧蚀率和微观形貌进行测试和分析。等离子烧蚀试验条件为:功率60kW,热流密度25000kW/m~2,烧蚀时间8s。结果表明:碳纤维、高硅氧纤维、玻璃纤维增强酚醛树脂复合材料的等离子线烧蚀率分别为:0.180mm/s、0.666mm/s、0.613mm/s,质量烧蚀率分别为:0.167g/s、0.310g/s、0.338g/s,线烧蚀率和质量烧蚀率相对偏差都在5%以内。利用扫描电子显微镜和X射线能谱仪对烧蚀样品的微观形貌进行分析,对不同纤维增强酚醛树脂基复合材料的等离子烧蚀机理进行了探讨。 相似文献
57.
本实验对苹果施加不同程度的水分胁迫处理后,测定其叶片相对含水量,水势,净光合速率,叶圆片放O2及叶绿体光合放O2能力的变化。在轻度水分胁迫下,气孔关闭,阻碍CO2进入叶内是叶片光合速率下降的主要原因;而在严重胁迫下,细胞光合能力降低可能是光合速率下降的非气孔因素。 相似文献
58.
最小二乘对支持向量机(LSTSVM)是一种有效的分类技术。然而,该方法需计算点到平面的平方L2-范数距离,从而易受野值或噪声的影响。为了缓解此问题,提出了一种有效的鲁棒 LSTSVM方法,即基于L1-范数距离的LSTSVM(LSTSVML1D)。该方法由于使 用L1范数作为距离度量,因此不易受到野值或噪声数据的影响。此外,设计了一种有效的迭代算法,旨在求解目标问题,并从理论上证明了其收敛性。在人工数据集和UCI数据集上验证了LSTSVML1D 的有效性。 相似文献
59.
60.
制备成炭率均匀性、稳定性良好的酚醛树脂粉体,选择国内6家仪器型号不同的、独立的实验室做热重分析,发现在确定加热速率、气体流量及样品量等试验条件下,取试样于800℃的成炭率为试验结果;发现6家热重分析实验室试验数据的重复性与再现性良好,并且对于影响试验结果的样品量、样品状态、加热速率、气流速率及样品吸湿等因素进行分析;发现样品吸湿是成炭率测试结果重复性与再现性的主要影响,不同实验室试验结果的差异可能主要来自样品测试前的干燥状态,研究结果为发展成炭率标准物质的定值奠定了试验基础. 相似文献