a-Si:H薄膜的磷-碳二元复合掺杂改性研究

以SiH4,PH3,CH4为源气体,采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,通过改变CH4流量制备了磷、碳二元掺杂非晶硅薄膜,研究了磷、碳二元掺杂对薄膜微观结构和光学性能的影响.用X射线光电子能谱仪(XPS)观察到了C-Si峰的存在,同时发现随着CH4流量的增加,薄膜中C元素含量逐渐增大.傅里叶转换红外光谱(FTIR)测试表明,掺杂薄膜中的H含量随着CH4流量的增加逐渐增大,由11.5%增大到24.6%.光学性能测试表明,随着CH4流量的增加,掺杂薄膜的折射率逐渐降低,而光学带隙逐渐增加.     

一种测试多层膜系热导率的方法

提出了一种测试多层薄膜热导率的结构.用ANSYS有限元分析软件对该结构进行了仿真,分析了加热功率以及悬梁长度和宽度等因素对测试结构温度分布的影响.仿真结果与理论相吻合,验证了该方法的可行性.微桥结构多层膜系的热导率是影响器件性能的关键参数之一.该测量方法无须在真空中实施,结构简单,操作方便.     

一种基于M位移序列编码的多进制扩频通信系统数学模型及其性能分析

扩频通信技术具有保密、隐蔽和抗干扰等优异性能,因而具有广阔的应用前景.直接序列扩频(直扩)技术具有众所周知的许多优良特性,但常规二元直扩在灵活、有效利用频谱方面就显出了不足.探讨了一种m位移序列多进制扩频系统,分析了系统的性能和原理,为系统的仿真研究提供了数学基础.     

A new cleaning process combining non-ionic surfactant with diamond film electrochemical oxidation for polished silicon wafers

This paper presents a new cleaning process for particle and organic contaminants on polished silicon wafer surfaces.It combines a non-ionic surfactant with boron-doped diamond(BDD) film anode electrochemical oxidation. The non-ionic surfactant is used to remove particles on the polished wafer's surface,because it can form a protective film on the surface,which makes particles easy to remove.The effects of particle removal comparative experiments were observed by metallographic microscopy,which showed tha...     

隧道地质预报中的瞬变电磁视纵向电导解释方法研究

瞬变电磁隧道超前地质预报最常用到的成果解释图为视电阻率等值线图,但由于视纵向电导相对于视电阻率等值线图具有更好的电性界面识别特征,因此,研究隧道超前地质预报中的瞬变电磁视纵向电导解释方法就显得很有意义。通过建立在全空间条件下的等效导电平面法来计算视纵向电导参数,并且详细阐述了视纵向电导曲线及其一次、二次微分曲线之间的关系。然后,通过建立隧道正演夹层模型和实际应用实例对视纵向电导的解释特点和效果进行较为全面的分析研究,并深入讨论了视电阻率等值线图与视纵向电导二次微分成像联合解释方法。最后,总结和归纳出视纵向电导在瞬变电磁超前地质预报解释中的一些方法特点和规律,以此指导瞬变电磁法在隧道内的超前地质预报工作,不断提高瞬变电磁隧道超前地质预报的精度及准确度。     

改性凹凸棒土强化混凝处理低浊微污染水源水研究

通过对凹凸棒土进行改性,并将其用于处理低浊微污染水源水,考察了改性凹凸棒土投加点、投加量对强化混凝处理微污染水源水效果的影响。结果表明,投加改性凹凸棒土能显著改善混凝性能,大大提高了对浊度、CODMn、UV254、氨氮的去除效果。当聚合氯化铝和改性凹凸棒土的投加比例为1∶(1～1.25)时,强化混凝对浊度、CODMn、UV254和氨氮的去除率分别可达到97.02%、47.63%、32.46%和31%,且形成的絮体密实度高、沉降性好。     

煤岩体破裂电磁辐射分形特征研究

为提高电磁辐射预测煤岩体动力灾害的准确性,采用室内试验和分形理论相结合的方法研究单轴压缩煤体产生的电磁辐射分形特征.研究结果表明:煤岩体受载过程中产生的电磁辐射脉冲数在时间上具有明显的分形特征,分形维数与煤样的冲击能指数成正幂指数关系;当受载煤岩体处于压密阶段时电磁辐射分形维数较小;处于弹性阶段时,电磁辐射分形维数有一个较小增长,并保持在一个稳定的水平;当受载煤岩体处于塑性阶段时,电磁辐射分形维数大幅度提高;临近主破裂时电磁辐射逐渐降低;主破裂时电磁辐射分形维数降低到最低水平;残余变形阶段,电磁辐射分形维数先增长后减少,总趋势减少.利用上述研究成果,成功地对7249工作面的冲击地压进行准确的预测预报.实践表明,计算脉冲数分形维数的电磁辐射法能够预测煤岩动力失稳现象.     

斜拉桥换索设计方法探讨

过去50年内,全世界修建了300余座斜拉桥.由于斜拉索的防护技术不尽完善,斜拉桥在运营若干年后,不可避免地会出现斜拉索腐蚀问题.为保证桥梁安全运营,国内外一些斜拉桥不得不进行换索.通过对相关斜拉桥换索设计实例的调查研究,分析了斜拉桥常规换索设计的做法及其不足,借助索力优化理论和最小残数应变能原理,提出了改进换索设计的思路与方法,并通过换索工程实例初步验证了所提方法的合理性.     

基于DMR标准调制解调器的仿真研究

对DMR协议的调制解调器进行仿真研究,给出了不同参数对系统功率谱及误码性能的影响曲线。针对最优解调算法实现难度大的问题,提出了一种简化算法,并将其与最优算法进行比较。仿真结果表明,此算法在保证性能的基础上极大地降低了复杂度,提高了可行性。