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针对末端物流中配送车辆多趟次运输、客户对配送服务时间的多样化需求,研究多车程多时间窗车辆路径问题。构造该问题的最小化车辆数量和总运输成本的双目标混合整数规划模型,设计改进的自适应大邻域搜索算法对其求解;构建了基于路径、车程及客户点3个层级上的多种高效的破坏算子和修复算子来扩大解的搜索空间;使用自适应策略选择高效的搜索算子,以及引入模拟退火新解接受准则避免陷入局部最优解来提高搜索效率。通过多种规模算例实验结果分析,验证了改进的自适应大邻域搜索算法的优越性,并分析了考虑多车程的模型对总运输成本的影响。 相似文献
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焊接变形的高精度测量方法及预测方法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
基于有限元分析的固有变形逆解析方法是一种获取焊接接头固有变形的新方法。但是,采用该方法计算固有变形时,必须已知焊接前后焊接接头上少数点的三维坐标值。为了提高固有变形逆解析结果的精度,提出利用接触式三维坐标测量仪准确地获得焊件中面上三维坐标的新算法。该算法是通过在被焊件上加工小孔,在每一个小孔附近测量八个点的三维坐标,利用测量得到的坐标值确定小孔的中心位置。以2 mm和3 mm薄板表面堆焊焊接接头为例,以计算得到的小孔中心三维坐标为已知参数,基于逆解析方法求得了各成分固有变形,并采用固有应变法预测了2 mm和3 mm薄板焊接变形。通过比较分析发现,尽管焊件板厚只相差1 mm,但焊接变形的特征和变形量却有显著的差别,采用该测量方法及算法能获得焊接接头中面上较精确的三维坐标,基于逆解析方法获得的固有变形各成分有效准确。 相似文献
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目前,视频序列中的车辆运动检测是图像处理领域中最重要的研究课题之一。它的核心内容是应用图像处理技术从包含车辆信息的图像序列中检测车辆、提取车辆特征和状态、并预测和跟踪车辆的轨迹。车辆的运动检测系统一般包含运动检测、车辆提取、车辆跟踪。从这三个方面回顾车辆运动检测技术目前的发展水平和常用的处理方法,分析研究难点和未来的发展趋势。 相似文献
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Cu互连线显微结构和应力的AFM及SNAM分析 总被引:1,自引:0,他引:1
在ULSI中采用Cu互连线代替Al以增加电子器件的传输速度和提高器件的可靠性,Cu的激活能约为1.2eV,而Al的激活能约为0.7eV,Cu互连线寿命约为Al的3-5倍。Cu大马士革互连线的制备工艺为:在硅衬底上热氧化生成的SiO2上开出凹槽,在凹槽中先后沉积阻挡层Ta和晶种层Cu,然后由电镀的Cu层将凹槽填满,最后采用化学机械抛光将凹槽外多余的Cu研磨掉,Cu互连线的尺寸为:200um长,0.5μm厚,宽度分别为0.35,0.5,1至3μm不等,部分样品分别在200℃,300℃和450℃下经过30min退火。利用原子力显微镜(AFM)和扫描近场声学显微镜(SNAM),同时获得形貌像和声像,分别了Cu大马士革凹槽构造引起的机械应力和沉积引起的热应力对Cu互连线显微结构及可靠性的影响,SNAM是在Topometrix公司AFM基础上建造的实验装置,实验采用的机械振动频率在600Hz-100kHz之间。分析测试结果如下:1.AFM和SNAM可以实现对微米和亚微米特征尺寸的Cu互连线的局域应力分布和显微结构的原位分析。2.采用AFM,TEM、XRD观察和测试了Cu互连线的晶体结构,分析了大马士革凹槽工艺 对Cu晶粒尺寸及取向的影响。平坦的沉积态Cu膜的晶粒尺寸约为100nm;而由大马士革工艺制备的凹槽中的Cu互连线的晶粒尺寸约为70-80nm,凹槽结构抑制了晶粒生长,平坦的沉积态Cu膜有较强的(111)织构;而凹槽中的Cu互连线的(111)织构减弱,(200)和其它的晶体取向分量增强。3.SNAM声阻尼信号对材料局域应力的变化敏感,SNAM声图衬底可显示出局域应力的分布,在沉积态的Cu互连线声图中,金属和SiO2介电层的界面处像衬度强,表明该处为应力较高的区域,而在退火后的Cu互连线的声图中,金属和SiO2介电层的界面处像衬度弱,表明退火后该处应力减小,我们对Cu膜进行了宏观应力的测试,退火后应力值从沉积态的661MPa减少至359Mpa,这与SNAM声成像的结果相符合。 相似文献
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全固态高效率射频电源 总被引:2,自引:0,他引:2
射频电源作为微电子设备如刻蚀机、溅射台和PECVD等的核心部件,其性能的好坏直接关系到整个设备的性能。固态射频电源采用E类MOSFET功率放大器,通过适当的阻抗匹配网络,最终的射频电源在500 W的额定功率下,功率转换效率可以达到84%,微电子设备真空腔室内的等离子体启辉时,其阻抗变化范围很大且速度很快。目前匹配速度最快的MKS的自动匹配器(在允许匹配范围内匹配到50Ω时用时3~5 s)也很难实时跟上,所以固态射频电源必须能够承受500 W功率的反射至少3~5 s。经过实验后,本固态射频电源完全可以承受500 W功率的全反射30 s左右。 相似文献