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射频磁控溅射制备声表面波器件用ZnO薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了采用射频磁控溅射法在SiO2/Si衬底上制备ZnO薄膜工艺中溅射功率、氧氩比(V(O2)/V(Ar))及衬底温度对ZnO薄膜结构的影响。利用X-射线衍射(XRD)和扫描力显微镜(AFM)对薄膜进行结构性能分析,表明其结构性能随工艺参数变化的规律。利用优化的工艺条件:射频功率60 W、V(O2)/V(Ar)为0.55和衬底温度350℃,在DLC/Si衬底上制备了ZnO薄膜,制作加工成声表面波滤波器件,测试分析了频率响应特性,中心频率为596.5 MHz。 相似文献
72.
通过半湿研磨法制备出堆积密度〉0.50g/mL的壳聚糖,其堆积密度提高60%~90%。此方法操作简单、无污染、成本低廉,同时处理后的壳聚糖不仅没有失去其碱性多糖的特点,而且溶解范围加宽、溶解速度加快、溶液黏度提高若干倍和味道香甜,是一种较理想的医药、食品添加剂。 相似文献
73.
74.
75.
对武汉市深基坑工程的现状、发展及管理情况进行了论述与探讨。提出了加强深基坑工程设计与施工管理水平的手段与方法,对深基坑工程的安全施工提供了有益的参考。 相似文献
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77.
78.
城市中心区是老年人最为集中的区域,也是老年人照料设施最为缺失的区域,但是在城市中心区以新建的方式补充老年人照料设施较为困难。因此,对闲置办公楼的整合改造再利用,不失为解决城市中心区老年人照料设施缺失问题的有效可行的方法。该研究对城市中心区闲置办公楼改造老年人照料设施的可行性进行了分析,提出闲置办公楼改造老年人照料设施的设计策略,有效地提高了闲置办公楼改造为老年人照料设施的决策效率。 相似文献
79.
无容器凝固方法是一种可以使低非晶形成能力材料玻璃化的新型技术手段,但制得的材料尺寸多为毫米级,尺寸约束严重限制了材料的应用。本研究提出利用非晶态物质在过冷液相区内的超塑性进行热压烧结实现大尺寸制备的思路,首先利用无容器凝固技术获得玻璃非晶原料,再采用热压烧结的方式,在非晶材料的过冷液相区?T_x内施加压力,使材料发生软化流动从而致密化,制备出大块的La_2O_3-Nb_2O_5非晶氧化物材料,并研究了烧结压力对样品致密化的影响。结果表明,烧结压力从60 MPa增大至200 MPa,粉末颗粒之间出现了显著的烧结现象,样品变得更加致密,烧结压力的提升对样品的致密化有着重要的作用。此外,研究表明烧结温度的提高也会促进样品的致密化。在200 MPa压力下,通过研究收缩曲线,分析了整个烧结过程分为3个阶段,即加速收缩、快速收缩和收缩停滞。 相似文献
80.