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介绍了一种利用隧道效应所具有的高位移敏感特性来获得较高灵敏度的微机械隧道振动陀螺仪的设计和工艺制备,该陀螺仪分别采用扇形梳齿驱动和面外振动悬臂梁的方式实现质量块的振动和恒隧道电流的检测。介绍了扇形梳齿驱动的工作原理和隧道陀螺仪的设计。由于采用了硅玻键合和深反应离子蚀刻(DRIE)的DDSOG体硅制备工艺,因而可获得较大的敏感质量块,从而使陀螺仪具有较高的灵敏度和较大的动态响应范围。根据检测模态和驱动模态匹配的原则,利用有限元模型对隧道陀螺仪的结构尺寸进行了优化,仿真结果表明,该陀螺仪在常压下的灵敏度为0.007 nm(°)/s。 相似文献
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使用静电纺丝的方法,制造出不同直径的纳米纤维薄膜,在低风速下进行空气过滤实验,建立初步分析模型,分析了纤维直径和过滤性能间的关系.实验表明,纳米纤维的直径和过滤效率并不是正比关系,而是在某个纤径尺寸范围存在这一个最优值.对于PM10颗粒,纤维直径分布在400~600nm范围内的纳米纤维薄膜的过滤效果较好.分析模型的建立将促进纳米纤维薄膜空气过滤研究. 相似文献
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声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)是沿物体表面传播的、能量集中于表面附近的一种弹性波。基于SAW技术实现的射频识别(Radio Frequency Identification,RFID)是应用现代电子学、声学、微电子工艺技术和雷达信号处理技术等的新成就,具有纯无源,阅读距离大,制造成本低,可在高温差、强电磁干扰等恶劣环境下工作等特点,可应用于交通运输、工农业生产制造及监测等各个领域。它是基于集成电路芯片RFID的重要技术补充,逐渐受到了业界的广泛关注。文中基于SAW-RFID的工作原理介绍了SAW-RFID的特点及优势,分析讨论了SAW标签的编码方式、发展状况及关键技术问题等。 相似文献
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为了将微隧穿式陀螺仪(MTG)的隧尖与检测电极之间的隧道间隙及其变动量分别维持在1nm和0.1nm并降低系统噪声和扩大带宽,本文为其检测模态设计了线性二次高斯(LQG)闭环反馈系统。在利用微小量法对呈指数规律的隧道效应进行线性化的基础上,建立了MTG检测模态的线性化模型,并将哥氏加速度和电子隧道1/f噪声分别当作主要的过程噪声和输出噪声,设计了由最优状态估计器和线性二次(LQ)状态调节器组成的LQG控制器。搭建了仿真系统和实际的LQG控制电路并进行动态测试。仿真结果显示,LQG控制在将系统的信噪比提高24dB的同时,能够将两个隧道电极之间的间隙的变动量控制在10-4 nm。实验曲线表明,隧道电流噪声的峰峰值为0.4nA,LQG反馈控制系统在动态加速度信号的激励下可维持恒定隧道间隙为1nm。 相似文献
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电纺氧化锌纳米纤维乙醇、丙酮气敏传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了用静电纺丝技术制造微纳气体传感器的方法。采用PVP(Polyvinyl Pyrrolidone)/Zn(Ac)2和PEO(Polyoxyethylene )/Zn(Ac)2两种混合溶液作为原料,通过电纺喷射获得了复合前驱体纳米纤维;在空气中加热至500℃去除聚合物,并使Zn(Ac)2受热分解、氧化获得ZnO纳米纤维;利用X射线衍射术(XRD)对ZnO纳米纤维进行成分表征;最后实验检测了ZnO纳米纤维气敏传感器对乙醇和丙酮气体的传感特性。结果显示:以PVP/Zn(Ac)2、PEO/Zn(Ac)2复合纳米纤维为前驱体制得的ZnO纳米纤维平均直径分别为308 nm、184 nm;这种纳米纤维经加热氧化可获得高纯度ZnO纳米纤维;在室温条件ZnO纳米纤维气敏传感器对目标气体传感响应时间小于1 s,其传感灵敏值随着气体浓度的增大而升高。另外,以PEO/Zn(Ac)2为前驱体制得的ZnO纳米纤维表面粗糙、比表面积大,具有较高的传感灵敏值,对于乙醇、丙酮两种目标气体的最高灵敏值分别为215.69和118.13。得到的结果表明:静电纺丝技术的引入为半导体微纳气敏传感器的集成制造提供了有效的方法。 相似文献
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VR(Virtual Reality)是虚拟现实的简称。狭义的虚拟现实主要是指通过计算机与立体眼镜、传感手套等传感辅助设备进行数据交换,使人们得到相应的视觉、听觉、触觉甚至嗅觉信息,从而建立三维信息的人工环境,产生逼真的三维现实感觉。这种人工环境是可实现的和不可实现的物理上的、功能上的事物和环境。广义的虚拟现实,涵义已经大大的扩充,它不仅包括狭义的内容,还泛指一切与之有关的能够实现模拟仿真的软硬件,以及所使用的技术与方法,例如“人工现实(Artificial Reality)”、 “虚拟环境”(Virtual Environment)、“赛伯空间”(Cyberspace… 相似文献
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弹性力学的实时人工神经计算模型 总被引:1,自引:0,他引:1
以弹性力学的为例,依靠最小势能原理,将弹性力学计算问题转化为等式的约束或无约束二次优化问题,利用人工神经网络的并行计算能力和动态稳定特点寻优,建立弹力学人工神经网络模型,给出了改进的Hopfield和TH网络的结构和参数对应情况;对一个简单结构的弹性力学人工神经计算进行数值模拟。 相似文献
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