硅尖的制备及在传感器技术中的应用

介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用。硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发。     

悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析

介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析。讨论了系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系。     

表面微加工中镍的微电铸

介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.     

基于针尖诱导的静电纺丝实验分析

针尖诱导电纺技术（TIE）利用针尖阵列插入聚合物溶液表面后快速抽离,由于高压强电场和黏性力作用在液面抽离处诱导形成泰勒锥,进而在收集板上得到大量纳米纤维,实现纳米纤维的批量制造．实验结果表明在不同电极间距下,电纺阈值电压随着溶液浓度的增加而增大．当工作电压为63kV,溶液槽尺寸为142mm×50mm时,电纺聚氧化乙烯（PEO）溶液的纤维产量达1．9612g／h．当工作电压从45kV增加到63kV时,纤维沉积均匀性变化范围为31．08％～43．23％．     

纳米尺度液滴的静电喷射实验

介绍了一种基于高压静电打印技术的工作原理.静电打印头结构是由喷孔结构和电极结构复合而成.施加2.5～3.5kV的脉冲电压驱动液滴产生,所得的液滴直径比传统静电喷射方法更小的液滴,直径为1991～201.6nm.同时,考察在2.8kV,3.0kV,3.2kV和3.4kV四种脉冲电压条件下幅值下幅值大小对液滴大小的影响情况,实验结果表明随着脉)中幅值的增大液滴逐渐减小结论.     

场发射真空传感器

场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器.通过理论分析,确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系.并利用干法刻蚀工艺,在硅片上制作了高3.2μm,曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列.保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下,可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流.实验结果表明,在10V-15V的输入电压范围内,通过测试场发射电流所得到的真空度值,其最大误差不超过10%.该真空传感器具有制作简单、易于集成、信号测量容易、自身不带密封腔等优点,具有潜在的应用前景和市场潜力.