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一种基于MEMS技术的压电微泵的研究 总被引:1,自引:1,他引:1
介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,使用了一个主动阀和一个被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。压电双晶片和PDMS泵膜的组合可以产生较大的泵腔体积改变和压缩比,显著降低了加工成本,并提高了成品率。对压电微泵的输出流量进行了测试,结果显示:电压、频率以及背压对流量均有显著影响。在100 V,25Hz的方波驱动下,该压电微泵的最大输出流量为458μL/m in,最大输出压力为6 kPa。 相似文献
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首先研究了双端声表面波谐振器的一些特点,然后从传感技术角度,给出了一种不用延迟线而采用谐振器对有机气体检测的新方法。 相似文献
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文中介绍了一低驱动电压接触式RF-MEMS开关,开关采取了两端固定的"桥式"结构,在桥与支撑点间采用折叠弯曲的铰链结构,而且紧靠中央信号线的旁边各有一个较大面积的电极,这些措施降低了开关的驱动电压.整个工艺采用表面微加工工艺.由实验测试可知:开关驱动电压11 V左右,与ANSYS模拟的值12 V基本一致,开关的S参数,在的范围内,插入损耗要小于-1 dB,在频段(≤5 GHz),开关的隔离度要优于-30 dB,在频段5~10 GHz,隔离度也要高于-20 dB. 相似文献
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表面等离子体谐振生物传感器是基于光学原理的生化分析系统,可以对分子间的相互作用动力学进行实时分析,并且无须对分子进行标记.该研究利用自行研制的表面等离子谐振生物传感器对特定条件下人血清白蛋白与其抗体之间的相互作用动力学进行了分析.结果表明:人血清蛋白与固相抗体之间结合速率常数为0.538 M~(-1)s~(-1),解离速率常数为7.37×10~(-3)s~(-1).相互作用动力学分析为发展微量白蛋白的检测技术奠定了基础. 相似文献
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