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41.
一种纳米精度偏振干涉仪光学系统的研究
总被引:1,自引:1,他引:1
郭新军
王霁
严家骅
周自力
《红外与激光工程》
2004,33(1):21-24
本干涉仪采用偏振测量和偏振接收装置。对干涉仪光路中激光的偏振态转换进行了详细的理论分析,对偏振干涉仪以及双频干涉仪的研制具有借鉴意义。该装置的重复性试验表明干涉仪重复性在30nm之内,说明干涉仪的性能比较可靠。如果对环境条件进行严格的控制,会得到更高的测量精度,有望实现纳米精度测量。
相似文献
42.
金属镁冶炼行业余热回收技术的应用及效益分析
周自力
李雪艳
《有色冶炼》
2001,30(4):15-16,46
介绍炼镁余热锅炉的设计,系统布置及其与蒸气射流真空泵配套使用所取得的效果并展望了其应用前景。
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