用浸渍砂轮磨削钛合金的研究

一、引言磨削加工不仅用于精加工,而且也应用于粗加工和表面去表皮加工,在这方面,干磨的情况很多。但干磨存在有许多问题,如砂轮表面易产生粘附、砂轮磨损严重、磨削比很低、磨削过程中磨削力大、磨削温度高、零件磨削表面产生较大残余应力及粉尘造成严重的环境污染等。上述问题在干磨钛合金时更为突出。为了减小或排除以上问题,曾对普通砂轮组织进行了调整,如采用混合磨料的砂轮。试验结果表明,调整后的砂轮性能均有所改善,但并不很显著。     

不连续切屑特征及形成机理的研究

半不连续切屑的形成过程分为弹性挤压和集中剪切两个阶段。本文推导出这两个阶段的变形能表达式。认为，集中剪切区的塑性变形能与屑段区的弹性能释放有关。每个切屑单元形成后系统能量应保持最低水平。由此得到切屑单元长度Ｌ＿Ｔ与切屑材料机械性能和切削条件和关系。其中，影响半不连续切屑形成的主要因素是切削材料的屈服强度τｓ和弹性模量Ｅ，并用屑形系数ｇ＿ｃ（ｇ＿ｃ＝τ＿ｓ／Ｅ）表达材料的这种切削属性。     

基于PMAC开放式数控系统的定位精度控制

伺服控制方法是影响机床定位精度的关键因素之一，要保证数控系统的高定位精度，应采用合理的伺服控制方法。文章分析了在基于PMAC的开放式数控系统中提高定位精度的具体方法，对PMAC所提供的“PID＋速度／加速度前馈＋陷波滤波器”的伺服控制算法和误差补偿功能进行了阐述，将螺距误差补偿和间隙误差补偿应用于航空航天领域某型测控系统的系统误差补偿中，取得了良好效果。     

基于去除熔化物形态分析的铝合金薄板激光切割试验研究

为提高铝合金薄板激光切割质量,对切割去除熔化物进行了收集、观察及测量研究。在Nd:YAG脉冲激光切割模式下,采用不同气熔比0.1898,0.2798,0.3708和0.6519,对0.85mm厚的1000系铝合金薄板进行切割试验。试验通过超景深三维显微镜对收集的去除熔化物形状和尺寸进行观测研究。结果表明,去除熔化物颗粒由球形颗粒和蝌蚪形颗粒两种颗粒组成,其中球形颗粒平均尺寸在71～123μm之间;高气熔比切割去除熔化物主要呈球形,颗粒尺寸较小,切割质量较好;低气熔比下熔化物主要是蝌蚪形,其中呈现的球形颗粒尺寸较大,切割质量较差。试验最终在辅助气压0.6MPa高气熔比0.6519下获得了较高质量的切口。研究结果深化了铝合金激光切割的机理认识,有效提高了铝合金薄板的激光切割质量。     

Material removal rate of 6H-SiC crystal substrate CMP using an alumina（Al2O3） abrasive

正The influences of the polishing slurry composition,such as the pH value,the abrasive size and its concentration,the dispersant and the oxidants,the rotational velocity of the polishing platen and the carrier and the polishing pressure,on the material removal rate of SiC crystal substrate(0001) Si and a(0001) C surface have been studied based on the alumina abrasive in chemical mechanical polishing(CMP).The results proposed by our research here will provide a reference for developing the slurry,optimizing the process parameters,and investigating the material removal mechanism in the CMP of SiC crystal substrate.     

硅片化学机械抛光表面材料去除非均匀性实验

化学机械抛光技术已成为超大规模集成电路制造中实现硅片全局平面化的实用技术和核心技术。CMP的最大问题之一是硅片材料去除的非均匀性,它是集成电路对硅片表面平坦化需求的一个重要指标。文章提出了硅片表面材料去除非均匀性计算公式,在CP-4实验用抛光机上进行了硅片化学机械抛光实验,并用美国ADE公司生产的WaferCheck-7200型非接触式电容厚度测量设备对单晶硅片的厚度进行高精度检测,经过计算,得出了不同抛光速度下硅片表面材料去除非均匀性的数据,为理解硅片CMP材料去除非均匀性形成机理,进一步揭示硅片CMP材料去除机理提供了理论依据。     

超声辅助磨削GH4169高温合金工艺研究

针对GH4169高温合金的难加工性、砂轮磨损严重导致的加工表面质量差、效率低等问题,引入超声辅助磨削加工技术,分析了主轴转速、进给速度、磨削深度、超声振幅对磨削力、砂轮磨损及表面形貌的影响.结果表明:超声辅助磨削能有效降低磨削力并有助于延长砂轮使用寿命;获得了超声对材料去除方式、砂轮磨损行为的影响机制,对指导GH416...     

缓进给磨削发动机涡轮叶片窄深槽时电镀CBN砂轮的修整

本文针对发动机涡轮叶片窄深槽的加工要求，分析了缓进给磨削窄深槽的电镀CBN成形砂轮的修整特点，研究了电镀CBN成形砂轮的修整技术及其修整效果，通过磨削试验，分析了修整后的电镀CBN砂轮缓进给房削高温合金窄深糟的加工度和表面质量。     

微晶刚玉砂轮磨削钛合金TC17试验研究

使用大气孔与普通气孔两种微晶刚玉砂轮开展钛合金磨削试验,研究磨削参数与气孔尺寸对磨削工件表面完整性的影响。试验结果表明:砂轮转速27m/s,磨削深度10μm时,可获得较好的表面质量;同普通砂轮相比,大气孔微晶刚玉砂轮磨削钛合金工件的表面质量更好、微观组织变化和表面残余应力更小。大气孔砂轮具有较好的容屑、排屑、冷却能力,使磨削温度降低、磨削力减小,是获得较好表面完整性的主要原因。