MEMS中硅湿法深槽刻蚀工艺的研究

针对硅基MEMS湿法深槽刻蚀技术的难点,在硅材料各向异性腐蚀特性的基础上探索了湿法工艺。对腐蚀液含量、温度、添加剂含量对刻蚀速率及表面粗糙度的影响,掩膜技术等进行了实验研究,优化得到了最佳刻蚀条件。应用该技术成功地刻蚀出深度高达330μm的深槽,为MEMS元器件的加工提供了一种参考方法。     

填充混合液体的光子晶体光纤温度传感研究

为获得高灵敏度光子晶体光纤温度传感,在实心光子晶体光纤（PCF）空气孔中填充氯仿和酒精等高折射率热敏液体的混合物。理论上采用有限元法分析了温度对光纤模场面积和限制损耗的影响。通过调节液体的混合比,使损耗对温度的灵敏度达到最大值,实现了高灵敏度PCF温度传感。实验表明,填充液体的长为4mm的PCF温度传感器,灵敏度经检测...     

巨磁电阻隔离器中自旋阀材料及结构研究

为得到矫顽力和工作偏置点都合适的自旋阀结构,实验中采用NiFe/CoFe复合层作为自旋阀自由层并通过调节NiFe和CoFe的厚度来控制自旋阀的矫顽力和灵敏度,并通过调节自旋阀中金属隔离层的厚度来控制自旋阀工作偏置点的位置。结果表明得到合适的自旋阀结构。在此基础上,采用光刻剥离工艺,制作两组折线形自旋阀巨磁电阻条样品,其磁化方向分别沿电阻条的长轴和短轴。测试结果表明磁化方向沿电阻条长轴的样品,矫顽力大小和工作偏置点稳定,灵敏度在电阻条宽度很小时有所减小;磁化方向沿电阻条短轴的样品,矫顽力和灵敏度大小稳定,而工作偏置点的位置随着电阻条宽度的减小逐渐偏离自旋阀钉扎场的方向。     

含有非磁性气隙层叠层电感直流特性的研究

为了获得适合功率电感磁芯材料的磁导率及提升器件的直流特性,提出了在器件磁芯材料层中引入一定厚度的非磁性气隙层可有效调节磁芯材料的磁导率,以提升器件的直流偏置性能。设计仿真了尺寸为2.0mm×2.5mm×1.05mm,含有10匝线圈的叠层功率电感中引入非磁性气隙层的直流特性。研究了在磁芯中部引入5²0μm不同厚度气隙层的直流特性,结果表明直流电流从1.18A上升到2.34A;同时研究了引入不同层数及不同分布排列的气隙层的直流特性,表明气隙层数越多,分布在磁芯中越稀疏,可获得更好的直流性能。     

石墨烯太赫兹调制器及330 GHz无线通信系统

现有太赫兹无线通信系统通常采用微波倍频或直接调源的方式。本文从太赫兹波空间调制技术出发,研究了一种基于直接调制技术的太赫兹无线通信系统。重点探索了一种基于石墨烯/半导体硅的复合结构(GOS),研究出调制速率达到1 MHz,调制深度50%以上,工作频带覆盖0.2 THz~2 THz频段的新型全光学太赫兹调制器。在此基础上,构建了330 GHz载波频率的太赫兹无线通信系统,实现了1 Mbps的通信速率。     

Phenomenological Theory for Giant Magnetoresistance Oscillation in Magnetic Multiplayer

Electrical transport properties in nanostructure have experimentally and theoretically importance. The interest in such researches is stimulated by possible applications in microelectronic devises such as giant magnetoresistance (GMR) sensor and magnetic random access memory (MRAM). One interesting property of the electrical transport in magnetic multilayer composed of ferromagnetic separated by nonmagnetic layers is the spacer dependence of GMR oscillation, which is generally believed to …     

纳米晶巨磁光BiAlDyIG薄膜的磁光性能研究

基于对ＢｉＡｌＤｙＩＧ巨磁光材料的紫蓝光波段法拉第角频谱分析，采用新型热分解法工艺合成优质ＢｉＡｌＤｙＩＧ磁光薄膜，经快速循环晶化处理的结果表明，由于晶粒细化，其平均有效法拉第角比常规热处理后的样品大０．５°左右，且随循环数增加而增大。同时由于Ａｌ３＋在四面体和八面体位的取代，导致居里温度下降（１４０～１６０℃），这些结果对提高磁光盘信噪比以及增大记录密度是极有意义的     

Influence of Nanocrystallization on Magnetic Properties of the Co-Based Alloys Thin Films

Since Yoshizawa et al found iron-basednanocrystalline soft magnetic materials in 1988[1],nanocrystalline soft magnetic thin films have attractedmuch attention due to their wide applications.According to the random anisotropy model proposedby Herzer[2,3], as grain size is smaller than theexchange correlation length, coercivity andpermeability will be proportional and inverselyproportional to the grain size to sixth power,respectively. Therefore, in order to reach excellent softmagnetic properti…     

IT及家电业用高新软磁材料及元器件发展走势

IT及家电业用高新软磁材料及元器件是目前电子工业的瓶颈。本文分析了目前最具有发展前景和广阔市场前景的几种软磁材料及器件，并对未来市场情况作了详尽的分析，指出材料工艺的不足及改良措施，给出了这些材料在元器件上应用。     

图案化磁记录技术

1引言由于巨磁阻(giant magneto-resistive,GMR)读出磁头、硬盘最大相似性(partial-response maximum likeliness,PRML)信道的应用,以及磁粒尺寸和磁介质薄膜厚度的减小,从1991年起,磁盘存储密度每年以 60％-100％的速度递增。2000年4月,Read-Rite公司开发出一种新型的磁性材料,其存储密度达到50Gbit／