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81.
激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2
总被引:2,自引:0,他引:2
张晋敏
谢泉
余平
张勇
肖清泉
杨子义
梁艳
曾武贤
《功能材料》
2008,39(7)
用直流磁控溅射方法分别在室温及不同温度的Si(100)衬底上沉积Fe膜,随后采用脉冲激光扫描进行退火,X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征了激光扫描对薄膜结晶性质和表面显微结构的影响.测量结果证实直接形成了Fe-Si化合物系的富硅高温相α-FeSi2,室温沉积样品的结晶性质随激光能量密度的增加而提高;反应沉积样品的结晶性质随衬底温度升高而提高.
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