数字灰度投影光刻技术

随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字灰度投影光刻技术,结合电寻址数字微镜阵列的工作方式,分析了DMD的灰度调制机理和投影成像特性;阐述了DMD微镜结构与投影系统的倍数、数值孔径的关系;设计了投影光刻系统,并进行了分辨力和三维面形的曝光实验。实验结果表明,数字灰度投影光刻技术灵活、方便,尤其在三维浮雕微结构的制作方面,可实现光刻灰度的数字化调制,表面粗糙度可达0.1μm。     

X射线数字化实时成像检测技术在天然气长输管道焊缝探伤中应用的可行性

经分析X射线数字化实时成像检测技术在天然气长输钢制管道对焊缝探伤应用是可行的,并能取得良好的经济效益和社会效益,建议在“西气东输”工程中采用。     

激光诱导Al等离子体中电子密度的实验研究

用Nd:YAG脉冲激光器产生的1.06μm激光,在低压环境下烧蚀金属Al靶获得等离子体,并观测其空间分辨发射光谱;利用AlⅠ的两条发射谱线的Stark展宽计算了Al等离子体电子密度,研究了电子密度随空间的演化规律。结果发现:在靶面附近电子密度达到最大值,随着离靶面距离的增加,电子密度逐渐减小,从微观物理机制的分析推断:激光诱导等离子体的复合辐射是电子密度减少的主要原因。另外,还探讨了激光能量的变化对等离子体电子密度的影响。     

利用弯管测量流量的理论分析与实验研究

本文分析了流体在弯管内的流动特性，导出流经弯管的流体流量与压差关系的基本公式。利用PHOENICS软件对弯管内流体的流束和压力分布进行了模拟计算，得出了流量与弯管内最大压差的关系与实验一致的结果及弯管流量系数与弯管结构参数的关系。     

水泥土搅拌法在西郊水库渗水层处理中的应用

泾惠渠西郊水库工程建设中发现左右坝肩两侧393.50～399.50m高程范围内地层主要为含砂轻、中、重粉质壤土及轻粉质砂壤土,渗透系数k=(2.61～6.24)×10-4cm/s,属中等透水地层。工程采用水泥土搅拌桩连续墙的方法进行处理,达到预期效果。渗透系数由处理前的(2.61～6.24)×10-4cm/s减小到处理后的(0.69～6.52)×10-7cm/s。防渗墙土体的其它指标也得到改善和提高。     

蓄热式燃烧器蓄热室传输特性试验研究

研究了流体流经蓄热室的阻力特性系数和传热系数与结构参数和操作参数之间的关系，通过试验分析了单位球层上的无因次阻力（单位阻力系数）与孔隙度，流体速度，温度的依变关系，提出在实际应用中的处理方法；分析了传热系数受蓄热球填充层中气流速度和材质的影响及烟气的排放温度与换向时间，蓄热体蓄热／放热能力的关系。     

压电陶瓷的δ—V曲线测试

本文报导了压电陶瓷的变形δ和电压V的关系曲线(以下简称δ—v曲线)的测试方法,介绍了工作原理及主要构成部分,讨论了实测结果的精度。     

大型预应力钢筒混凝土管道(PCCP)接口维修处理措施

大型预应力钢筒混凝土管道(PCCP)接口,在施工和运行过程中难免会出现不同程度的损坏,接口的维修处理对PCCP管道运行效果起着至关重要的作用。文中介绍了南水北调中线京石段应急供水工程(北京段)PCCP管道接口处理维修实践,该段PCCP管道内径为4 000 mm,对其在打压试验中不合格的管道接口给出了三种具体的处理措施。