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背面减薄是制备InP基光电子芯片的一道重要工艺。晶圆被减薄后失去结构支撑,会因应力作用产生剧烈形变,翘曲度大幅提高。严重的翘曲会使芯片可靠性降低甚至失效,应对晶圆的翘曲度进行控制和矫正。文章从“损伤层-翘曲度”理论出发,实验研究了晶圆厚度、粘片方式、研磨压力、磨盘转速、磨料粒径对翘曲度的影响。根据试验结果优化工艺参量,优化后晶圆的翘曲度降低了约20%;再通过湿法腐蚀去除损伤层,矫正已产生的翘曲,使晶圆的翘曲度降低约90%。优化减薄工艺降低损伤应力与湿法腐蚀去除损伤层分别是控制和矫正晶圆翘曲度的适用方法,可使翘曲度下降至之前的10%以内。 相似文献
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以往水文序列分析中,对序列自相关性的研究多集中于一阶自相关性及其处理方法,而对于水文序列的高阶自相关性则鲜有表述。以陕西省典型流域实测年径流序列为研究对象,开展序列高阶自相关性的研究,探讨高阶自相关存在与否的问题。结果表明陕西省渭河、汉江、无定河三大典型流域中,仅有无定河流域风沙区的韩家峁、横山以及流域出口的白家川水文站的年径流序列检测到了高阶自相关,其余站点的径流序列均不存在高阶自相关性。为了验证高阶自相关性对水文分析的影响,通过BP神经网络预测模型对高阶自相关性的影响进行了评估,结果显示在输入变量中加入合适的高阶变量序列后,可在一定程度上提高模型的预测效果,从侧面验证了高阶自相关性客观存在的假设。同时,研究结果还表明对径流关系不佳的小样本资料地区,考虑高阶自相关性的影响,可有效提升小样本径流资料的展延效果,为区域水文设计的科学性与应用效果提供保障。 相似文献
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基于ET控制的平原区县域水资源管理研究 总被引:1,自引:0,他引:1
受气候变化和人类活动的影响,水循环过程发生改变,单纯基于用水侧考虑已不能完整反映区域的水资源问题,必须从水资源物理成因角度开展用水控制。本文从水资源的自然属性出发,以水循环过程为基础,重点阐述了基于ET控制的水资源管理的基本理论与方法,针对平原区县域的特征,提出了基于ET控制的平原区县域水资源管理模型及计算方法,并以地下水超采典型区—滦南县为例进行了实例应用。模型以县域ET控制为手段,以消减ET实现为目标,从水资源的物理驱动过程入手,考虑了产业发展、种植结构、节水潜力以及地下水超采等县域发展的实际问题,使规划管理方案更贴近县域生产实际,控制超采更具可操作性。 相似文献
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缺资料地区农村面源污染评估方法研究 总被引:5,自引:0,他引:5
为了解决缺资料地区的农村面源污染难以定量模拟和综合评估的问题,本文将输出系数法(the Export Coefficient Model)和源强系数法(Source Strength Coefficient Method)进行联合,建立了一套简单、实用的农村面源(非点源)污染评估方法。结合文献和研究区——濑溪河流域(泸县境内部分)的调查数据提出相应的模型系数,进行研究区的农村面源污染评估,得到研究区主要污染类型、主要污染物、主要污染源、重点治理乡镇以及各镇主要污染源,同时,根据以该评估结果依据提出水污染治理对策建议。结果表明,所提出的方法适用于缺资料地区的农村面源污染评估。 相似文献
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对瑞红胶及Shipley胶制作光栅掩模时的有效曝光量进行了实验.结果表明瑞红胶全息曝光对应的感光效率只是单束光曝光感光效率的0.65倍,Shipley胶全息曝光对应的感光效率只是单束光曝光感光效率的0.8倍;且同种光刻胶的光栅掩模在不同空频的有效曝光量亦不同,即光刻胶的有效曝光量与感光效率及光栅掩模所在的空频有关. 相似文献
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89.
大城市都市农业与城市可持续发展初探 总被引:4,自引:0,他引:4
在总结国内外都市农业的发展趋势的基础上,分析了都市农业的基本特征、功能以及与城市规划的关系,从而揭示了将都市农业纳入城市规划中的必要性,同时也指出将都市农业纳入城市规划是城市可持续发展的必然选择。 相似文献
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