面阵CCD在大尺寸形位误差测量中的应用

本文介绍了在半导体激光光纤和位相结合的准直情况下,利用面阵ＣＣＤ探测器测量大尺寸形位误差的原理,并针对二维位相板衍射图像的特点,提出了一种处理此类衍射图样的图像处理新方法－正交投影法,消除了ＣＣＤ表面保护玻璃形式的干涉条纹的影响,对空气扰动也起到了很好的抑制作用,并且使二维图像处理变形为一维计算,大大提高了计算速度。此面阵ＣＣＤ测量系统与双频激光干涉仪测量直线度误差的比对实验结果表明,二者的测量结     

五角棱镜90°偏转角的高精度测量

本文介绍了一种五角棱镜90°偏转角的高精度测量原理和方法。它是根据五角棱镜90°偏转角为一定值这一基本特性,巧妙地应用光电自准直仪达到高精度的,该测量原理简单易行,测量精度可高达0.2″以上。     

散斑干涉照像术用于微小位移的测量

本文以Vikram等人提出的方法为基础,提出一种测量小于散斑直径的小位移的新方法,使测量范围由一维扩展至二维。 采用预加位移多次曝光的方法,将对小位移的测量转为对散斑照片傅里叶变换条纹宽度和转角的测量。文中作了理论分析并给出实验结果。     

X射线显微术与纳米探测

本文介绍了Ｘ射线显微术、Ｘ射线激光全息及用晶体晶格作为长度标准的Ｘ射线干涉测量术在纳米探测中的应用