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81.
82.
本电路能以手触调谐一变容两极管的方法,使十个通道在高达18伏的电源电压下进行调谐,且兼有温度变化时保持低漂移的特性。4017在通道导通前受电阻R_4的抑制。4016的一部分,由手指接触法进行调谐,驱动时钟(脉冲)使整门线电平变低。4017计数时钟脉冲,直至所需要的输出升高,然后  相似文献   
83.
磁驱动微执行器是一种重要的微执行器.与静电驱动相比,磁驱动具有一些无可替代的优点.静磁驱动是磁驱动方式中重要的一种,具有广阔的应用前景.综述了国内外静磁微执行器模型的最新进展,分析了各类模型的优缺点,特别强调了在微观领域,不能通过简单的电-磁类比得到相应的磁微执行器的各类模型.讨论了磁微执行器的各种典型的pull-in模型.这些模型对磁微执行器的设计、分析与优化具有重要的参考和实用价值.  相似文献   
84.
设计了一种MEMS(Microelectronic mechanical system)器件节点单元自动识别的方法,介绍了如何根据工艺和版图信息实现识别的过程,对图形学相关算法进行了详细论述。结合节点单元特征提炼了各种单元的识别规则,并基于此规则实现了具体的识别流程。详细讨论了识别过程中用到的二维图形学相关理论、算法。最后以多种常用MEMS器件为例进行了节点单元类型识别,均获得了正确的结果。  相似文献   
85.
建立了硅各向异性腐蚀的3D动态元胞自动机模型,模拟过程中表层元胞边界条件的确定只与表层元胞有关,简化了表层元胞边界条件的确定过程.此外,腐蚀模拟过程中只需要计算与腐蚀液接触的表面元胞的腐蚀过程,提高了模拟计算的速度.采用不同的掩模图形,模拟了硅的各向异性腐蚀过程,通过对模拟结果的理论分析及将模拟的三维输出结果与已有实验结果进行对比,验证了模型的模拟效果.  相似文献   
86.
MEMS薄膜泊松比在线提取方法研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
提出了一种新的泊松比在线测量方法,在用两端固支梁静电吸合模型提取薄膜等效弹性模量的基础上,根据薄膜的等效弹性模量、杨氏模量、泊松比之间的关系提取薄膜的泊松比.在确定的工艺条件下,选择多组尺寸的测试结构用Coventor Ware软件计算吸合电压值,分析不同梁长对提取等效弹性模量精度的影响,表明选择合适的梁长可得到具有较高精度的泊松比.  相似文献   
87.
频响分析作为一种系统分析方法有着广泛的用途.介绍了一种基于虚拟仪器的频响分析系统.相对于传统的频响分析仪,它具有性能价格比高、功能覆盖面广、系统可升级性好等优点.  相似文献   
88.
通过对几个淀积工艺模型的讨论,分析了气体在低压下的传输机理及各部分反应对淀积结果的贡献,在此基础上提出了低压化学气象淀积(LPCVD)的二维淀积模型.这个模型在结构上比较简单,计算方便,模型考虑了中间产物的作用,能得到与实际情况较为符合的结构.最后使用C语言编程,采用线算法将模型变为程序,计算过程较为简单,计算速度较快.  相似文献   
89.
以信息安全理论和软件逆向工程技术为依托,研究了操作系统安全机制复合行为模型掘取技术及其实现方法和技术路线。通过结合操作系统的多尺度软件逆向理解技术,对操作系统安全机制的相关程序进行逆向分析、模型掘取和形式化描述,从而发现潜在漏洞、后门、隐通道等操作系统高层安全机制存在的安全问题,为实施修补、反制及利用等相应安全措施提供有力依据。在该技术基础上实现了一套原型系统,实验验证该系统的程序理解和模型掘取结果满足要求。  相似文献   
90.
在系统描述当前各种典型的网关选择策略基础上,第一次给出了MANET与Internet互连的网关选择策略的分类方法,并比较和分析了这些策略的优势与不足;最后结合该领域当前的研究现状,指出MANET与Internet互连的网关选择策略的发展方向。  相似文献   
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