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当前,光刻工业所面临的三个重要挑战为:极限尺寸控制、重影及费用。对于分辨率0.5μm代产品,这些挑战就已存在,当极限尺寸缩小时,挑战也变得更加严峻。挑战之一:极限尺寸当前,服役中的光刻设备的基础部分是分辨能力为0.4～0.5μm的Ⅰ—线步进器。利用焦深超过1μm的光学系统及±15％曝光范围的高性能抗蚀剂,该分辨率是可以达到的。在发展过程中由于采用DUV光刻技术,不需要诸如相移掩模及离轴照明,0.25μm大小线度得到了证实。另外,采用较短波长(193nm)进行曝光,0.12μm分辨率得到了证实。 相似文献
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利用HF酸处理提高石英玻璃355nm激光诱导损伤阈值,通过优化HF溶液浓度以及石英玻璃表面的酸处理时间,石英玻璃的透过率和损伤阈值均有所提高,均随HF酸浓度以及酸处理时间的增加呈现先增加后下降变化。实验结果表明质量分数10%的HF浓度刻蚀60 min后石英玻璃的激光损伤阈值为15.17 J/cm2,相比酸处理前提高了167.5%。对比分析了相同激光能量密度作用下有无HF酸处理石英玻璃表面损伤面积变化,最后给出了HF酸处理提高石英玻璃的激光诱导损伤阈值机制。 相似文献
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Stimulated Raman scattering (SRS) transmission modes in highly elliptical-core optical fiber of three different structures are experimentally researched.The measuring setup,SRS spectrum and photographs of Stokes modes are given.The observed phenomena are completely different from those on circular-core graded-index optical fiber.The beam sizes of SRS remain constant and SRS light transmits with the characteristics of higher-order.mode.In addition,the experimental results are theoretically explained with fiber-optical dispersion theory and SRS phase matching conditions.Experimental results and theoretical analyses are in good agreement. 相似文献
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近年来,仿生微沟槽减阻技术逐渐成为当今学者研究的热点。飞秒激光微纳加工技术相比于传统的机械微加工技术在制备可控形貌微结构方面具有一定优势。但在用飞秒激光制备微沟槽的过程中,怎样在保证加工效率的前提下精确地调控微沟槽的形貌尺寸尚待解决。使用飞秒激光在6061型铝合金表面进行了可控形貌尺寸的微沟槽结构的制备,讨论了激光功率、重复频率、扫描速度、扫描次数对微沟槽形貌尺寸的影响规律,从而获得微结构的精确调控策略,制备出了适用于航空减阻的对称V形沟槽结构。该研究对今后飞秒激光制备航空航天材料减阻微纳结构表面具有一定指导意义。 相似文献
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具有润湿功能的微纳结构表面因在生物工程、防覆冰等领域的潜在应用价值,近年来吸引了大量的关注,但亲水微纳结构表面的润湿不稳定性成为了其应用中的一大阻碍。本文通过飞秒激光直写的方式在不锈钢表面制备了具有亲水性质的微纳结构表面并研究其经一定时间跨度后润湿性变化规律及机制。研究表明,在表面化学成分方面,不锈钢微纳结构表面通过浸泡氢氧化钠溶液处理后可有效抑制其润湿变化。通过X射线光电子能谱分析表明,这是由于处理前后润湿机制发生转变导致的。从微纳形貌方面,当不锈钢表面粗糙度增加时,可以通过保持长效毛细效应实现较长时间范围内的稳定超亲水状态。本文的研究结果为润湿性微纳结构表面的应用提供了一定的性能改善策略新思路,特别在亲水特性微纳结构表面的应用上具有重要的研究意义。 相似文献
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林景全 《中国新技术新产品》2013,(20)
介绍了各种控制系统在电梯中的应用,给出了可编程控制器控制电梯电气控制系统图。分析了使各种控制系统优点及继电器控制缺点,综述各种电梯控制系统原理。 相似文献
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