晶圆制造单元的Petri网建模和性能分析

晶圆制造是半导体制造过程中的一个重要环节,晶圆制造单元的性能直接影响晶圆制造的成本。为了有效地分析晶圆制造单元的动态性能,分别对加工设备存在瓶颈和搬运机器人存在瓶颈的两种情况,进行了赋时Petri网建模研究,建立了晶圆制造单元的赋时Petri网模型。在此基础上,进行了稳态生产率分析,同时用实例验证了模型的有效性和实用性。     

柔性作业车间调度问题的集成启发式算法

柔性作业车间调度问题,包括路径分配和加工排序2大子问题,是组合优化理论和实际生产管理的重要研究方向。作为传统作业车间调度的扩展,柔性作业车间调度问题的内在复杂性(强NP-Hard)使得传统的最优化方法难以有效求解。文章针对以多目标权重和最优为目标的柔性作业车间调度问题,提出基于过滤定向搜索的集成启发式算法,设计改进了节点分枝策略和局部/全局评价函数,能同时解决2大子问题。通过实例仿真,对算法性能进行比较分析和评价,结果表明了算法的可行性和有效性。     

生产调度与维护集成的多目标Lorenz非劣遗传优化

研究了一种单机环境下集成生产和维护的双目标优化调度问题。机床的故障间隔时间和平均维修时间服从指数分布,同时结合加工序列相关准备时间。预防性维护活动不能与作业加工同时进行,但与准备时间不相冲突。调度目标是同时最小化作业总计完成时间和机床不可得性。在问题建模的基础上,构造了一种基于Lorenz非劣关系的分类遗传算法(表示为L-NSGA-Ⅱ),详细设计了算法的核心部分。最后,通过大量计算实验,将L-NSGA-II算法与NSGA-II算法进行了比较分析,说明了L-NSGA-II算法的有效性。     

高频光电导法测量硅晶体载流子寿命的深度分析

高频光电导测量硅单晶寿命的方法在国内半导体材料行业广泛使用,经过长期的实践积累了丰富的经验。本文试图就方法原理、仪器性能要求、测试结果的处理以及如何提高测量的重复性进行了深入分析。     

CNC机床中刀具交换问题的启发式算法

刀具交换问题是指在一台CNC机床上加工N个作业时,在优化作业加工次序和刀具装载策略的过程中,使CNC机床的换刀次数最少。为了有效地搜索到刀具交换问题的优化解,本文提出了基于定向搜索的启发式算法的求解方法。通过实验数据的验证,本文提出的算法具有简单、计算速度快以及效率高的特点。     

岱河煤矿薪酬设计的探索

对岱河煤矿员工薪酬分配现状及存在的主要问题进行了分析，在此基础上，根据安徽、淮北及同行业煤炭企业的平均收入水平，确定岱河煤矿员工基本工资，分析了各职能部门的重要性，提出相应的薪酬分配方案。     

基于强化学习的模式驱动调度系统研究

目前,还没有一种调度规则能够根据系统环境状态的改变来进行自适应调整.对此,提出一种基于智能体的模式驱动调度系统,由智能体和仿真环境两个主要部分构成.其中,智能体将利用强化学习(Q学习算法)进行训练,以提高其动态选择合适调度规则的能力.仿真结果表明,这种模式驱动调度系统能够很好地根据系统环境状态的改变选择出对应的最优调度规则,且其调度性能优于单一调度规则,适合于系统环境不断变化的动态调度.     

面向制造任务动态分配的改进合同网机制

为了强化合同网机制对于分布式调度的学习能力,提出了一种将基本合同网与Q-学习集成的适应性协商机制.运用统一建模语言序列图描述了该机制,并详细阐述了其策略决策过程和学习过程.通过设计嵌入的Q-学习算法的关键要素实现合同网学习机制.通过柔性制造车间内作业在可选单元上动态分配的仿真计算实例表明,相比基本合同网机制,所提机制在平均延误和可选单元间负载平衡这两项系统评价指标上都具有优势.     

Modeling of photolithography process in semiconductor wafer fabrication systems using extended hybrid Petri nets

To describe a semiconductor wafer fabrication flow availably, a new modeling method of extended hybrid Petri nets （EHPNs） was proposed. To model the discrete part and continuous part of a complex photolithography process, hybrid Petri nets （HPNs） were introduced. To cope with the complexity of a photolithography process, object-oriented methods such as encapsulation and classifications were integrated with HPN models. EHPN definitions were presented on the basis of HPN models and object-oriented methods. Object-oriented hybrid Petri subnet models were developed for each typical physical object and an EHPN modeling procedure steps were structured. To demonstrate the feasibility and validity of the proposed modeling method, a real wafer photolithography case was used to illustrate the modeling procedure. dynamic modeling of a complex photolithography process effectively The modeling results indicate that the EHPNs can deal with the dynamic modeling of a complex photolithography process effectively.     

互替机床提前/延期惩罚调度问题的启发式算法

对以作业提前或延期惩罚因素之和最小为目标函数的互替机床调度问题进行了描述，提出和阐述了一种四段式启发式算法，并通过大量不同规模的问题仿真对该算法进行了评价分析，结果表明该算法可行、有效。