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采用中频反应磁控溅射沉积非晶二氧化硅(a_SiO2)薄膜,用X射线衍射、原子力显微镜、傅里叶红外光谱等方法研究氧分压影响退火前、后的两种SiO2薄膜样品的微观结构、折射率和消光系数等特性的变化规律。结果显示:室温下,沉积速率随氧分压的增大而减小,有利于提高薄膜的光滑性和致密度;在不同氧分压下沉积的SiO2薄膜均为非晶态结构;氧分压为25%时,薄膜表面具有均匀、光滑、致密的性能特征;折射率和消光系数都依赖于氧分压,氧分压大于15%时,薄膜在600 nm处的折射率n约为1.45~1.47,消光系数低于10-4。这表明适当提高氧分压有利于获得光学性能较好的SiO2薄膜。傅里叶红外吸收光谱测试表明,随着氧分压的升高,Si-O-Si伸缩振动峰向高波数方向移动,较高氧分压下沉积的SiO2薄膜具有较高的化学结合能,且结构和性能更稳定。 相似文献
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温度伺服控制系统是数码变温空调的一个重要的子系统,是数码变温空调的执行机构.本文根据数码变温空调的工作原理,提出了一种基于ARM微控制器的全数字式温度伺服控制系统.温度伺服系统硬件电路是以基于ARM的数字温度控制器为核心,通过单线总线数字温度传感器DS1820对室内外温度进行采样,并使用液晶模块对温度伺服系统的各个运行参数进行实时显示和分析.采用通用的模块化设计方式,编写了温度伺服系统调速程序,并且使用C语言对程序进行了实现. 相似文献
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一、引言井陉绵右灌区始建于1958年,后经二、三期续建四期改建,到1981年骨干工程全部建成。共有干渠6条长191公里,支渠23条长199.8公里,斗渠1447条长936.4公里,灌溉着2县1区21个乡镇的1.17万公顷耕地。总干渠设计引水流量10立... 相似文献
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第二次世界大战以后,国际市场进入了需求多样化的新阶段,这就要求工业生产向多品种、小批量的方向发展。在20世纪80年代日本的汽车制造业战胜美国之后,丰田生产方式随后被管理专家深入研究并称之为精益生产,精益生产被誉为"改变世界的机器",开始风靡全球。本文将从精益生产管理的理念和如何推动生产实施要点进行阐述和分析。 相似文献
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