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101.
本文研究了富硅氧化硅薄膜掺入铒的发光特性.富硅氧化硅薄膜(氧含量为60%)采用PECVD方法生长,室温下离子注入铒,经过800℃,5min的退火,在10~300K温度下得到较强的波长1.54μm光致发光.发光强度随温度升高而下降,其温度猝灭激活能为14.3meV.发光谱表明富硅氧化硅中Er-O发光中心仍具有Td对称性.  相似文献   
102.
室温连续的新结构垂直腔面发射半导体激光器   总被引:1,自引:2,他引:1  
本文报道了室温连续激射的GaAs/GaAIAS新结构垂直腔面发射半导体激光器的最新研究结果.该器件结构是采用钨丝掩膜四次质子轰击方法制备的,这种方法是目前报道的垂直腔面发射激光器制作工艺中最简单的.对于直径15μm的钨丝,器件的最低阈值电流为17mA,最大光输出功率达4mW,微分量子效率高达65%.  相似文献   
103.
开展了使用TEOS和H2O混合物进行PECVD生长SiO2膜的研究工作.氧化硅折射率分布在1.453±0.001的范围,且随偏离中心距离基本不变.薄膜厚度是中央大,边沿薄,其厚度相对变化不超过±1.5%(51mm衬底).利用TEOS源PECVD,并结合退火技术,摸索出厚膜氧化硅生长工艺,已成功地在硅衬底上生长出厚度超过15μm氧化硅厚膜,可用于制备氧化硅平面波导器件.  相似文献   
104.
设计了基于绝缘层上硅(SOI)平坦化阵列波导光栅单纤三向器.三向器三个波长(1310,1490和1550nm)工作在阵列波导光栅的三个不同的衍射级数,并在阵列波导光栅的输入波导末端引入多模干涉器(MMI),实现了平坦响应的三波长波分复用.模拟结果表明基于这一设计的三向器3dB带宽为6nm,串扰小于-40dB,插损为5dB.制备的三向器经测试输出光场清晰,实现了三向器的功能.  相似文献   
105.
106.
本文报道了AlxGa1-xAs/GaAs多层异质外延材料中高Al组份的AlxGa1-xAs层在400~500℃与水汽(携带气体为N2)发生化学反应的氧化特性.其氧化反应是沿着AlxGa1-xAs层从其刻蚀出的台面边界开始横向进行的.AlxGa1-xAs层的氧化速度与AlxGa1-xAs中x值、层厚、水汽通量、氧化温度等4个因素有关;根据不同温度下AlAS层氧化反应速度常数,计算出了一定厚度AlAs层与水汽发生化学反应的活化能.  相似文献   
107.
SiO2/Si波导应力双折射数值分析   总被引:2,自引:1,他引:1  
采用有限元法对SiO2/Si掩埋光波导制备工艺中的应力变化进行了系统的分析,在此基础上,应用有限差分束传播法(FDBPM)对应力光波导的双折射进行了计算.结果表明上包层的玻璃化过程是SiO2/Si波导形成水平方向和垂直方向应力差的主要原因,相应的应力双折射系数B在10~-4量级.进一步的分析表明上包层B,P重掺杂可明显减小波导的双折射系数.  相似文献   
108.
报导了由选择氧化法研制的GaAs/AlGaAs垂直腔面发射激光器,DBR中的AlAs经选择氧化形成的氧化层作为有源区的横向电流限制层,器件的最低阈值电流为3.8mA,输出功率大于lmW,发散角小于7.8°,高频测量脉冲上升沿达100ps,并由此器件制成了2×3二维列阵。  相似文献   
109.
通过对国外旋转防喷器锁紧机构的研究,从中发现不足之处;研制了新型的锁块式锁紧装置。该装置采用液控操作,由活塞带动嵌在壳体上的锁块完成锁紧和解锁功能,且具有显示机构和机械锁紧功能。克服了现有锁紧机构外形庞大、费时费力的缺点。厂内试验及现场应用表明:该机构结构合理,操作方便,能可靠地锁紧和解锁。  相似文献   
110.
不停车带温、带压堵漏技术(upls)是20世纪80年代发展起来的先进设备维修技术之一,因其显著的优越性,在现代工业尤其是石油化工行业得到了广泛的应用,较好地解决了石油化工连续生产中的跑、冒、滴、漏,最大限度地降低企业损失,为企业效益最大化提供可靠保障。  相似文献   
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