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Chemical mechanical planarization(CMP) of amorphous Ge2Sb2Te5(a-GST) is investigated using two typical soft pads(politex REG and AT) in acidic slurry.After CMP,it is found that the removal rate(RR) of a-GST increases with an increase of runs number for both pads.However,it achieves the higher RR and better surface quality of a-GST for an AT pad.The in-situ sheet resistance(Rs) measure shows the higher Rs of a-GST polishing can be gained after CMP using both pads and the high Rs is beneficial to lower the reset current for the PCM cells. In order to find the root cause of the different RR of a-GST polishing with different pads,the surface morphology and characteristics of both new and used pads are analyzed,it shows that the AT pad has smaller porosity size and more pore counts than that of the REG pad,and thus the AT pad can transport more fresh slurry to the reaction interface between the pad and a-GST,which results in the high RR of a-GST due to enhanced chemical reaction. 相似文献
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硅基高密度电容器是利用半导体3D深硅槽技术和应用高介电常数(高K)材料制作的电容。相比钽电容和多层陶瓷电容(MLCC),硅基电容具有十年以上的寿命、工作温度范围大、容值温度系数小以及损耗低等优点。文章研究原子层沉积(ALD)制备的Al2O3薄膜的介电特性,通过优化ALD原子沉积温度和退火工艺,发现在沉积温度420℃和O3气氛退火5 min下,ALD生长的Al2O3薄膜击穿强度可大于0.7 V/nm,相对介电常数达8.7。制成的硅基电容器电容密度达到50 nF/mm2,漏电流小于5 nA/mm2。 相似文献
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84.
85.
以实际开发的工程为基础,从代码编写的角度讲述如何在C#中使用ArcGIS Engine提供的ActiveX控件来开发独立的应用程序以达到利用视窗控件在C#开发环境中建立应用程序的目标。并且实现了对ArcMap地图文档的读取、缩放、查找以及中心定位等功能的实现。 相似文献
86.
应用选择性较好的新型捕收剂和起泡剂,采用异步混合浮选新工艺,粗精矿与中矿分别再磨分选,解决了现场混合浮选生产工艺存在的综合回收金、钼等伴生矿物与铜硫分离条件的矛盾,显著地提高了伴生金、钼的选矿指标,并进一步优化了主金属铜的回收。新药剂、新工艺适应德兴铜矿的矿石性质,获得了巨大的经济和社会效益。 相似文献
87.
在深入研究分析我国中小型服装企业的特点和信息化程度的基础上,提出了中小型服装企业的ERP系统设计的一般方法,并从实施过程、实现技术以及系统实施者必须遵循的原则三方面阐述了ERP系统的实施,最后对中小型服装企业ERP系统实施中应该注意的问题进行了分析,并对其实施前景进行了展望。 相似文献
88.
合理地评价热防护服装的热防护性能对减少消防员的皮肤烧伤具有重要的意义。本文主要回顾并评价了热防护服装的热湿传递模型国内外的研究现状,包括皮肤传热模型及其烧伤评价模型、单层或多层面料的一维和二维热湿传递以及整体服装的三维热湿传递模型等,并比较分析了这些模型的应用缺陷,预测了热防护服装热湿传递模型研究未来的发展趋势。热湿传递模型的研究不仅可以为热防护服装的使用提供科学的理论指导以减少皮肤烧伤或蒸汽烧伤,而且能够进一步推动服装热防护性能测试技术的发展,满足我国“安全发展”和“公共安全防治”的技术需要。 相似文献
89.
棉/spandex单面针织物尺寸特性及物理性能 总被引:1,自引:0,他引:1
1引言 一般来说单面针织物在拉伸后的回复能力都不是很强,因此用加入spandex来提高织物的尺寸回复性.使用spandex的织物会像人体的第二皮肤一样适应人体,而且在服装的应用中具有良好的保形性,不发生任何形变.另外,spandex的突出特点是低的吸湿性,服用时能抗日晒和抗大部分的化学药品. 相似文献
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