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全玻璃SS-AlN金属陶瓷真空太阳集热管 总被引：3，自引：1，他引：2
不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳选择性吸收涂层于1995年在实验室制备成功,采用真空磁控溅射沉积。太阳吸收复合膜采用干涉吸收型膜层结构,由不同金属含量的两层金属陶瓷层组成吸收层。金属陶瓷吸收层采用在镀膜室中SS和Al金属靶,在溅射气体Ar和反应气体N2中同时溅射运行,SS靶非反应溅射沉积SS金属组分,Al靶反应溅射沉积AlN陶瓷组分。实验室沉积的SS-AlN吸收涂层的太阳吸收比高达94%～96%,室温辐射比3.5%～4.0%。皇明公司2001年开始产业化生产全玻璃SS-AlN真空太阳集热管。我们开发了立式集热管连续镀膜线,第一条镀膜线于2007年调试成功,投入生产。集热管镀膜线真空系统长约41 m,高约3 m。每条线日产约为1.8～2.0万支。 相似文献
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一、引言卢瑟福背散射分析方法(RBS)是一种无损快速的表面(10(?)～10nm)分析技术。它能给出以下几方面的信息:1.表面薄层的厚度及元素组成;2.元素的含量,3.元素的深度分布剖面。所以它对薄膜材料的研究,提供了一种有效的分析手段。 相似文献