上海电子束离子阱装置真空控制系统

本文介绍了基于RS485总线结构和LabVIEW图形化软件环境的上海电子束离子阱(EBIT)装置真空控制系统,详细分析了对真空设备远程操作和数据采集以及真空联锁的实现方法。测试结果表明该系统达到了设计指标,满足了实验使用要求,目前已成功地应用在上海EBIT装置中。     

上海光源首期Wiggler真空室材料选择及测试

本文对上海同步辐射光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF)首期两台扭摆器(Wiggler)真空室研制中材料的选择进行了阐述,在国内首次采用不锈钢真空室内壁镀铜的工艺来减小束流尾场效应,并对SS304镀铜材料相关真空性能进行了测试,为将来加速器设备真空室设计提供了参考.     

同步辐射光刻光束线的真空系统

第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系统要使镜箱内的压力分别小于6．7×10-8Pa（镜箱内有SR）和2．6×10-7（镜箱内无SR），以免暴露于SR的光学镜面遭受碳污染。一个装有可移动样品架的曝光室坐落在超净室中。曝光室内的压力约为10-4Pa。一个多级差分抽气系统实现了镜箱到曝光室的真空过渡。具有较大截面的差分管必须是良好的光通路。给出了差分抽气系统的计算公式和实验结果。描述了真空联锁系统的组成部分和功能。该光束线的功能还需扩展和提高，真空系统也有值得探讨和改进的问题。     

非蒸散型吸气剂(NEG)的性能特点和实际应用问题

根据文献和实践经验,综述了非蒸散型吸气剂St707和St101的性能特点以及NEG在实际应用中要注意的问题.     

合肥同步辐射光源储存环真空系统改造段的设计

合肥同步辐射光源安装了一台６Ｔ超导扭摆磁铁。原储存环真空系统的１／８必须由改造段更换。改造段设计中遇到了新问题，如超导扭摆磁铁发出的同步辐射光的光通路和电子束流通通道的确定，吸收同步辐射光的吸收器的设计，同步辐射光的光电解吸气载的计算，改造段真空室截面的平滑过渡的实现和超导扭摆磁铁７７Ｋ低温束流管道的特殊问题等。     

大型钛薄膜吸附泵的抽速测试装置的实验

本文叙述了一种大型钛薄膜吸附泵的抽速测试方法,介绍了实验原理及测试装置。实验表明,此方法用于测试薄膜吸附泵的抽速是可行的,测得的数据是可靠的。     

全金属超高真空快速关闭阀的设计与制造

全金属超高真空快速关闭阀（简称快阀）是同步辐射装置的重要真空保护元件。它安放在光束线的上游，如因光束线下游发生偶然事故，压力传感器将发出信号触发快阀的驱动电路，使它迅速关闭，以防止大量气体进入储存环，保护整机正常工作。我们的快阀是用弹簧机构在快速反应电磁铁的驱动下关闭阀板的，启开则由气缸提升阀板。本阀可关闭的窗口尺寸为１４ｘ１４０ｍｍ～２。包括电磁铁反应时间在内的全关闭时间为６．４５ｍｓ（其中关闭窗口的时间是２．４２ｍｓ）。在重复启闭５００多次的试验中，快阀在关闭位置时，阀板和阀座间的气体泄漏率不大于０．５ｔｏｒｒ．１／ｓｅｃ。     

SSRF电子储存环铝合金超高真空室研制

上海光源3.5GeV电子储存环超高真空室采用铝合金材料,经数控加工后焊接而成,其结构复杂,精度要求高.在预制研究中成功地完成了一段6 m长典型真空室的设计、制造与调试.该真空室的平面度达到0.23 mm,横向偏移量1.4mm,内表面单位面积出气率4.1×10-10 Pa·m/s.在研制中暴露出结构设计和加工工艺等方面的多种问题,并找到了妥善解决的方法,为工程批量生产准备了条件.     

上海EBIT装置漂移管组件研制

漂移管组件为EBIT提供约束离子的轴向电势阱,是EBIT装置的核心区域.组件工作在低温、强磁场、高电压、超高真空的环境中,这对工程设计提出了很高的要求.本文介绍了上海EBIT装置的电势阱设计、漂移管组件的结构设计和一些特殊工程问题的处理方法,并对组件进行了低温和高压试验.本文的研究工作,对上海EBIT装置的成功研制有着重要的意义,目前上海EBIT可以稳定运行在100kV/110mA.