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101.
无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制 总被引:2,自引:1,他引:1
目的研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清洗剂组分和清洗工艺为:金属离子螯合剂体积分数0.025%,表面活性剂体积分数0.1%;清洗剂温度30℃,清洗剂流量3 L/min。优化的复合清洗剂能大幅度降低铜膜表面划伤和表面粗糙度,对铜膜表面残留的颗粒有较强的去除作用。结论优化的复合清洗剂能够对不同类型铜晶圆表面缺陷进行大幅度的修正,研究成果对提高大规模生产中晶圆的成品率有一定的指导作用。 相似文献
102.
陈雪叶;沈杰男;胡增亮;陈静 《光学精密工程》2016,24(10s):224-228
为了提高微通道表面的加工质量,研究了CO2激光在聚乙烯对苯二甲酸酯(PET)基板上加工微通道的工艺。通过正交试验法研究了激光功率、加工速度、通道长度和加工次数对微通道宽度的影响,并且进行了工艺参数优化。然后,通过金相显微镜和粗糙度测量仪对加工结果进行了实验分析。结果表明,正文试验获得的最佳加工参数如下:激光功率为10W,扫描速度为6mm/s,通道长度为80mm,加工次数为3次。在此加工参数下对通道表面的粗糙度(Ra)的算数平均值可以达到170nm。由此证明使用CO2激光在PET基板上加工微米级通道的方法是完全可行的。 相似文献
103.
目的:探究蒙古扁桃油对实验高脂血症大鼠血脂水平及肝脏功能的影响。方法:80只雄性Wistar大鼠按体重均衡随机分成8组:空白对照组、蒙古扁桃油对照组、高脂模型组、蒙古扁桃油组(A、B、C、D)、橄榄油对照组,除空白对照组和蒙古扁桃油对照组给予基础饲料,其余组均供给高脂饲料。5周建立高脂血症模型,蒙古扁桃油对照组(按每公斤体重给予10 mL/kg蒙古扁桃油灌胃)、蒙古扁桃油组(A:10、B:7.5、C:5、D:2.5 mL/kg)、橄榄油对照组(10 mL/kg橄榄油),空白组与模型组灌胃给予生理盐水。5周后,采样计算肝脏指数,测定血清总胆固醇(TC)、甘油三酯(TG)、高密度脂蛋白胆固醇(HDL-C)、低密度脂蛋白胆固醇(LDL-C)和肝组织丙二醛(MDA)、超氧化物歧化酶(SOD)、还原型谷胱甘肽(GSH),拟合量效关系曲线,观察肝脏组织学病理变化。结果:10 mL/kg和7.5 mL/kg的蒙古扁桃油显著降低高脂血症大鼠血清总胆固醇(TC)、低密度脂蛋白胆固醇(LDL-C)浓度(p < 0.05),不同剂量蒙古扁桃油均显著降低肝脏丙二醇(MDA)的含量(p < 0.05),10 mL/kg和2.5 mL/kg蒙古扁桃油显著提高肝脏超氧化物歧化酶(SOD)活性和谷胱甘肽(GSH)的含量(p < 0.05)。结论:蒙古扁桃油具有调血脂、提高肝脏抗氧化和保护肝脏组织的作用,且最佳剂量在2.5 mL/kg ≤ Y ≤ 10 mL/kg范围内。 相似文献
104.
105.
新型电力系统建设背景下,可再生能源接入和用电负荷类型的多元化为电力系统负荷预测精准性提出了更高的要求,但现有电力负荷预测方法没有考虑数据噪声对预测模型的负面作用,导致其预测精度易受到观测数据噪声的影响,难以应用于实际场景。本文梳理研究了基于深度学习的负荷预测方法,引入Transformer算法搭建负荷预测模型,并针对温度、湿度等具有一定波动性的电力负荷影响因素,施以概率分布的预处理,形成基于Transformer的稳健预测模型。通过将Transformer基础预测模型和基于Transformer的稳健预测模型分别在公开的原始数据集和引入噪声的数据集上进行实验对比分析,验证了Transformer负荷预测模型能有效应对数据噪声,且将模型输入考虑数据分布后的Transformer负荷预测模型能在保证预测精度的基础上提升预测模型的稳健性。 相似文献
106.
村作为最小的行政和居住单位在中国传承了数千年之久,许多传统村落至今仍存在于华夏大地.作为村落中最重要的公共建筑,宗祠建筑承载了村落最丰富的历史和文化.浙南地区的传统村落由于处在浙南丘陵地区之中,其宗祠建筑保存得较为完整,因此浙南地区宗祠建筑很好地保留着传统宗族文化的印记.本文从浙南地区传统宗祠建筑的平面形式和建筑装饰两... 相似文献
107.
周自平;黎垚;严银菓;江昊男;陈恩果;徐胜;叶芸;孙捷;严群;郭太良 《液晶与显示》2022,37(6):661-679
作为目前信息显示技术领域的热点,近眼显示设备的发展承载着人们对未来信息交互方式的美好愿景,同时,人们对于增强现实显示的需求也在不断提升,近眼显示中的AR显示无疑成为近年来研究的热点。伴随着显示技术的不断发展,高度微型化和集成化成为近眼显示中重要的发展趋势,微发光二极管(MicroLight-EmittingDiode,Micro-LED)显示技术在亮度、分辨率、对比度、能耗、使用寿命、响应速度和稳定性等方面相比于其他技术均有巨大的优势,是近眼显示设备较为理想的光源和图像显示源。本文从结构、制备工艺及挑战方面分析了Micro-LED显示技术的研究进展,从人眼的视觉特性出发综述了近眼显示的发展现状,总结了Micro-LED应用于近眼显示的优势,对比了各项技术的先进性和可实现性,最后对其发展进行了展望。 相似文献
108.
随着城市发展向社会化和人本化转变,城市绿色空间公正性的研究逐渐受到重视。试图基于罗尔斯《正义论》的观点和原则,运用公共服务设施的评价方法,构建城市绿色空间公正性的评价框架。以北京市朝阳区为例,从权利自由、机会均等、空间正义、供需均衡4个方面进行公正性评价。研究发现:1)目前存在较大面积的绿色空间服务盲区,未能达到机会均等的底线要求;2)绿色空间资源也未能优先倾向于社会弱势群体,尚未达到有利于最少受惠者的要求;3)总体供需关系较为均衡,但亟须解决局部空间存在的高需求低供给问题。根据评价结果,提出腾退增绿、消除服务盲区,提高出行空间友好性,改善公共交通出行便捷性3条建议,旨在提高绿色空间各层级的公正程度,并为城市绿色空间的相关规划建设提供参考。 相似文献
109.
季渊;褚勇男;冉峰;穆廷洲;满丽萍 《液晶与显示》2017,32(12):973-980
当前,硅基OLED(organiclight-emittingdiode,OLED)微显示器正向高分辨率、高刷新频率方向发展。为了实现像素面积微小型化、降低扫描数据流量从而更好满足高分辨率、高刷新率的要求,提出了一种新型的有源矩阵硅基微显示驱动电路结构。该电路采用数模融合的扫描策略,该策略结合了数字脉宽调制方式和模拟幅值调制方式;设计了多列像素复用列驱动通道的结构,满足数模融合扫描方式的时序要求。最后通过对列驱动单元后仿真,得到关键时序参数,结合数模融合扫描策略确定了几个具体结构方案。在保证红绿蓝三色像素尺寸在10μ m以下的情况下,与单纯的数字扫描策略相比,每秒数据流量降低了25%~64%。结果表明:基于数模融合扫描策略的硅基OLED微显示驱动电路在保证像素面积微小型化基础上,降低了扫描数据流量,有利于高分辨率高刷新率的显示。 相似文献
110.
本文基于光束传播法(beam propagation method, BPM)和时域有限差分法(finite difference time domain method, FDTD)建立了分析模型,模拟并分析了弯曲脊形波导超辐射发光二极管(superluminescent light emitting diode, SLD)不同结构参数(刻蚀深度、曲率半径、脊形宽度)对波导损耗的影响和倾斜脊形波导不同结构参数(刻蚀深度、脊形宽度、倾斜角度、发射波长)对模式反射率的影响。计算表明,弯曲脊形波导的刻蚀深度和曲率半径是影响波导损耗的重要因素。刻蚀深度较浅使波导对光场的限制作用较弱,过小的曲率半径会使模式传输泄露严重,损耗大大增加。脊形宽度越大,波导损耗越小,其对波导损耗影响较小。脊形波导的端面倾斜角度是抑制模式反射率的重要因素,脊形宽度增加,模式反射率逐渐减小,并在特定的几个角度形成的奇点达到最小值。刻蚀深度对于模式反射率的影响作用较小,但随着刻蚀深度的增加,奇点发生的角度产生了向小角度偏移。在特定的倾斜角度范围内,随着波长减小,奇点的数目会逐渐增加。研究结果可对设计具有优越性能的SLD器件... 相似文献