掺杂β-FeSi_2的研究进展

β-FeSiz是一种新的环境友好型半导体材料,通过在β-FeSi<,2>中掺入不同的杂质,可制成P型或n型半导体.从掺杂β-FeSi<,2>的制备技术、电学性质、光学性质和热电性质等几个方面介绍了掺杂β-FeSi<,2>的发展状况,并展望了掺杂β-FeSi<,2>的研究方向.     

磁敏导电硅橡胶的特性及机理

研究了磁敏导电硅橡胶的特性,分析了导电粒子含量和磁粉含量对磁敏特性的影响,确定了最佳含量范围,并从理论上分析了磁敏机理。     

磁控过程的计算机模拟

本文基于蒙特卡罗方法,并结合SRIM软件,编制程序跟踪模拟了磁控溅射各物理过程的粒子状态.以铝靶材为例,得到了粒子在磁控溅射各物理过程的状态分布,讨论了工作参数对薄膜沉积过程的影响.模拟结果表明:溅射原子的能量主要分布在20 eV以下,当原子沉积到基片表面时,其能量主要分布在15 eV以下,但有两个分布峰值,两个分布峰值对应着快慢两种不同形式的沉积过程.原子沉积到基片 表面的位置大致服从正态分布,气压p和靶基距离d影响正态分布的方差,也即影响沉积原子在基片表 面分布的均匀性.功率与沉积速度呈良好的线性关系,在工作气压为1 Pa,靶基距离为60mm的条件下,当入射粒子的能量为250 eV时,模拟得到的功率效率最大.     

激光扫描磁控溅射Fe/Si膜直接形成α-FeSi2

用直流磁控溅射方法分别在室温及不同温度的Si(100)衬底上沉积Fe膜,随后采用脉冲激光扫描进行退火,X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征了激光扫描对薄膜结晶性质和表面显微结构的影响.测量结果证实直接形成了Fe-Si化合物系的富硅高温相α-FeSi2,室温沉积样品的结晶性质随激光能量密度的增加而提高;反应沉积样品的结晶性质随衬底温度升高而提高.