EB制作1：1主掩模的工艺研究

一、前言众所周知，在掩模制造技术中，常规的光学方法制作主掩模流程如图且（a）所示，制作一块主掩模需用版材两块。电子束制作主掩模的流程如图1（b）所示，制作一块主掩模只用版材一块。比较图亚（a）和（b），可清楚地看到，（a）的制作流程长，费时且费料，（b）的制作流程短，节省材料，降低成本。凶！主掩模制作流程图随着集成电路规模的不断增大，芯片面积越来越大，有些已超出了精缩机的视场范围，精缩机的视场是100mmX100mm，用光学方法制作主掩模已不能完全满足用户的需要。由于以上种种原因，研究开发采用电子束设备（简称＊B…     

谈开关外置式智能电能表停复电装置在配网中的应用策略

本文主要围绕智能电能表基本概念、智能电能表标准化、开关外置式智能电能表停复电装置在配电网中应用分析等方面展开讨论,在对智能电能表概念有所了解的基础上,再次阐述了开关外置式智能电能表在电网构建上的运用,在提高停复电操作有效性方面有重要意义。     

0.2 THz二倍频器研究

基于六阳极结反向串联型GaAs平面肖特基二极管,设计并实现了0.2 THz大功率二倍频器。肖特基二极管倒装焊接在50m石英电路上。采用电磁场和电路联合设计仿真获得了二倍频器的倍频效率。当入射功率在100 mW时,输出频率在190~225 GHz带内效率大于5%。在小功率（Pin100 mW）和大功率（Pin300 mW）注入条件下,测试了倍频电路的输出功率和倍频效率。在100 mW驱动功率下采用自偏压测试,最大输出功率为14.5 mW@193 GHz,对应倍频效率为14%;在300 mW驱动功率下采用自偏压测试,在188~195 GHz,输出功率大于10 mW,最大输出功率为35 mW@192.8 GHz,对应倍频效率为11%。     

80t电炉排尘反吹系统电控改造

80t电炉排尘反吹系统的改造，使反吹系统线路简单，维修方便，提高劳动生产率。     

图低的计算机管理

针对企业在图纸管理中存在的问题，提出应用计算机管理图纸，建立图纸专业数据库，给出了图纸数据库及其管理系统的设计原则和方法。     

地面立式金属油罐的防腐蚀设计及施工

分析了成品油地面立式金属油罐各部分的腐蚀形式及严重程度,对各部分提出了多种防腐蚀方案,罐顶及罐壁采用涂料防腐蚀,罐底采用涂料和阴极保护相结合的方案,并进行了分析。总结了涂料防腐蚀施工的方法及注意事项。     

用电子束工艺反转制造1:1精密掩模的工艺技术研究

本文主要描述了用电子束工艺反转技术制造1：1精密掩模的新方法，给出了从基本原理入手来确定工艺流程和选定工艺条件的过程，并给出制作实例说明了该项技术所取得的经济效益和社会效益。     

制造纳米电子器件的技术途径

目的 为发展纳米电子年及纳米电子学技术寻找有效途径。方法 对目前制造纳米电子器件的主要途径,例如基于三束的光刻加工技术、分子组装与纳米微粒排列技术、扫描力探针加工技术等进行了概略的介绍。讨论了各种方法所存在的优势与限制。结果 对基于分子组装与纳米光刻的纳料制造技术给予很大的重视。结论 认为综合若干种技术之长可能是我们目前实现特定纳料器件制造的有效途径。     

多媒体课件设计与制作研究

随着计算机和网络信息技术的发展,多媒体课件成为教学必备,制作多媒体课件成为教师基本技能,研究了多媒体课件的制作过程、方法及制作平台,并探讨如何作好多媒体课件,提出了设计、制作多媒体课件的一些建议。