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以某型投影光刻机为例介绍了调平调焦系统的基本原理和主要构成,详细叙述了调平调焦系统的运行步骤,并结合多年的投影光刻机维修经验总结了调平调焦系统的常见故障,给出了处理故障的方法和步骤。 相似文献
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赵成田 《中国石油和化工标准与质量》2019,(13):166-167
本文对当前矿井下的皮带运输机皮带撕裂的现象进行了相应的讨论与研究,分析了皮带撕裂的原因,并针对矿井下的皮带运输机的皮带撕裂现象做出了相应的应对与预防措施,为解决矿井皮带运输机皮带撕裂的故障提供了一些经验,争取减少矿井皮带运输机皮带撕裂现象的发生,保证矿井的工作能够正常开展。 相似文献
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