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31.
Si(337)──另一个较稳定的高密勒指数晶面
邢益荣
《半导体学报》
1994,15(2):136-138
我们的LEED实验结果发现:偏离(112)约4°的St(337)表面,在超高真空中经Xe离子轰击并加~800℃退火后,呈现较清晰的(1×1)结构.在同样条件下,Si(112)表面没有产生好的LEED图样,从而预料:Si(337)可能是异质外延GaAs和GaP等极性化台物半导体的好衬底.
相似文献
32.
可望实用的Si(113)晶面
邢益荣
《半导体学报》
1986,7(1):106-108
LEED分析、氧气吸附和表面偶极子的研究结果表明,Si(113)可能是适合于生长半导体异质结外延的晶面.
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