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微热板式气压传感器结构设计与热分析 总被引:7,自引:1,他引:7
给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理.分析了微热板各层薄膜厚度、微热板下气隙高度、支撑桥尺寸、微热板面积大小对传感器加工、工作性能的影响,并结合实际工艺条件设计了一种采用不同支撑桥尺寸的传感器结构.理论分析了恒温加热方式下微热板各种传热途径随气压的变化关系;用有限元方法模拟了恒流加热方式下气压对传感器温度分布和温度大小的影响.分析结果显示,气压较高时微热板传热以气体导热为主,而气压较低时以支撑桥导热为主;微热板区域温度分布较均匀,温度大小受气压影响较大;设计的传感器测量范围为10~105Pa,功耗在毫瓦级,且具有尺寸小、热响应快、易与电路集成等优点. 相似文献
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针对当前输油管道压力监控现状,结合GPRS通信模块MC39i,给出了能够实现远程数据传输并可广泛应用于远程监控系统的设计方案。重点阐述了系统的硬件组成以及基于嵌入式实时操作系统FreeRTOS实现数据传输模块的软件设计;采用基于状态机的结构设计方法实现PPP链路层协议,实现GPRS模块与互连网络的连接;分析和比较了UDP和TCP两种传输层数据传输方式,并给出了基于uIP TCP/IP协议栈实现TCP和UDP传输协议的原理;对UDP协议的传输可靠性进行改进,采用带握手的UDP协议可以较好地满足实时性的可靠性要求,并对数据传输性能进行了测试。 相似文献
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一种基于ARM的仿生偏振光测试系统的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
针对研制仿生导航微纳传感器的需要,设计了一种以光电二极管为光电转换元件、以ARM微处理器为控制核心的仿生偏振光测试系统.分析了仿生偏振光测试的原理,并对测试系统的硬件设计及基于实时操作系统uC/OS-Ⅱ的软件开发进行了详细的阐述.该测试系统成功实现了对特定波段(370 nm-520 nm)的偏振光信号的采集,并利用三路信号进行了定位角度的计算. 相似文献