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为满足13.5 nm极紫外光刻(EUVL)等领域的应用需求,研制了高重复频率、高稳定性的声光调Q CO2激光器。首先,对声光Q开关的工作原理进行了分析,并实验研究了调制信号电压与衍射效率的关系。接着,研究了调制信号占空比对脉冲波形的影响,通过选择适当的占空比消去了脉冲拖尾。然后,对不同重复频率下的脉冲宽度、功率和脉冲幅值稳定性进行了测量和分析。最后,对激光器的光束指向稳定性进行了测量。实验结果表明:该激光器实现了重复频率1~100 kHz连续可调的脉冲输出,在重复频率1 kHz时,获得最小脉冲宽度252 ns和最大峰值功率7 579 W的激光脉冲输出。通过设计以殷钢管为主体的支撑架,使得激光器的脉冲幅值不稳定性小于3%,光束指向稳定性为46.6 rad。该声光调Q CO2激光器可作为高性能种子源在EUVL等领域中得到应用。 相似文献
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采用光线追迹法,分析了空间环境下离轴三反结构系统的猫眼效应。给出了离轴三反系统的像面倾斜、视场和离焦对猫眼回波效率和发散角的影响,证明了离轴三反系统像面倾斜量是决定能否发生猫眼效应的主要因素。提出利用阈值法实现激光主动探测猫眼信号的基本原理,并结合高阶余弦漫反射模型,分析了目标漫反射信号对猫眼信号检测的影响。估算了20km到120km探测距离下,理论上所需不同光束质量激光的最小脉冲能量。仿真表明,当发射光束的全角发散角为0.3mrad时,50km和120km探测距离下所需的最小激光脉冲能量分别为0.7mJ和3.1mJ。最后,通过原理实验,验证了空间激光主动探测法探测目标"猫眼"效应的可行性。 相似文献
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<正>0引言根据相关规定,机动车车速里程表和出租车计价器均属于强制检定工作计量器具。机动车车速里程表与计价器的准确性直接影响着消费者权益。检定机动车车速里程表与出租车计价器的方法就是指确定表的指示值与实际行驶路程是否相符。其计算公式为W=NS式中:W—实际行驶路程;N—指机动车轮轴的转数;S—指在车辆自重影响轮胎变形状态下的实 相似文献
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针对储气库高压大排量压缩机运行中出现的高压填料泄漏问题进行调查研究并提出解决方案.首先对填料盒内各环承压密封进行仿真分析,论证了三瓣式填料环易破碎的原因是应力集中问题,提出改用六瓣式填料环的解决方案,消除了应力集中,并进一步改进了六瓣式填料环材质形式,采用PEEK+金属材质组合,提高了外环的强度与韧性;其次通过对填料环... 相似文献
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以提高主轴箱结构刚度为目的,利用有限元法在主轴上施加单位静载荷,分析主轴箱的位移变化,计算出主轴系统允许的刚度值,并提出了影响和提高箱体刚度的因素和方法.为以后更好的进行主轴箱静态特性的优化设计提供了条件. 相似文献
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高速立式加工中心主轴箱结构设计及分析 总被引:1,自引:0,他引:1
以高速立式加工中心主轴箱为研究对象,为满足高速加工中心整体性能的需要,利用Pro/E软件,建立了4种主轴箱结构的三维模型,分别进行了主轴箱的力学分析和静、热刚度计算,并对4种方案中最优的设计方案进行了合理的结构优化。分析结果表明,箱体内筋板是影响主轴箱整体刚度的重要因素,并通过优化设计改进了筋板结构布局,提高了箱体刚度。 相似文献
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