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线阵CCD图象传感器的焦平面光学拼接 总被引:4,自引:1,他引:4
光学拼接法可将若干个线阵CCD图像传感器首尾相接拼成一个象元数目很大的CCD探测部件。本文介绍一种立方棱镜分光、机械微调的光学拼接方法的原理,拼接要求,设计特点,以及拼接的结果。 相似文献
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0.7微米i线分步重复投影光刻曝光系统研制 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍0.7μm线分步重复投影光刻曝光系统的技术指标、系统设计、研制中解决的关键单元技术和研制结果。结果表明工作波长365nm,缩少倍率5倍.曝光视场15mm×15mm.光刻工作分辨力0.6μm,并具有双路暗场同轴对准.又能精确分步投影光刻的曝光系统已研制成功。 相似文献
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与传统热力学方法不同,本文从辐照电场角度出发研究电子束辐照对BBO(β-BaB2O4)材料的非线性性能影响。利用量子化学方法和有限场方法计算其一阶超极化率β的全部分量,以此分析不同辐照强度下β的改变规律。研究表明:在电子束流强度为50μA的情况下,当射线能量小于400Mev时辐照电场对β的影响不大,平均值βav波动幅度最大仅为3%;此后随射线能量增大βav开始急剧下降,能量越高下降速度越快,420Mev时已经下降10%,材料面临失效的危险。研究结果还表明辐照电场对β三个分量的影响并不一致,随辐照能量增加βx、βy分量呈减小趋势,但βz分量却增加较快,预示着晶体中的共扼π轨道可能受到破坏。 相似文献
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