光子晶体--一种新型人工带隙材料

光子晶体是近十年来才发展起来的存在光子禁带的一种新型人工材料,具有操控光子行为的独特能力,在众多领域有着广泛的用途.介绍了光子晶体的结构特征,分析了光子带隙产生的物理机理,着重介绍了光子晶体材料中存在的新现象及其应用.     

准单色亚稳态氦原子束源系统研究

研究设计了一种亚稳氦原子束源系统。采用电子激发方法产生亚稳态氦原子，利用喷嘴经等熵澎胀形成原子束，通过该原子束的纵向速度进行选择，以及利用激光冷却来实现横向准直，制备出准单色亚稳态氦原子束。     

原子束全息技术制作任意微细图形研究

从波粒二象性原理出发，研究了用氖原子束计算全息技术制作任意纳米结构的基本原理和方法，克服了用激光梯度场控制原子堆积，只能制作单一点、线等周期性纳米结构的不足。分析讨论了原子全息与光学全息的区别，指出只有经激光冷却的原子束才满足全息技术所要求的相干条件和衍射条件。最后采用罗曼Ⅲ型迂回位相编码方法设计了氖原子束计算全息片，介绍了操纵氖原子束制作纳米任意结构的实验系统。     

光瞳滤波提高投影光刻成像分辨力研究

针对投影光刻成像系统在数值孔径足够大时所产生的分辨力和焦深的矛盾,详细研究了光瞳滤波对投影成像对比度的改善情况,根据不同掩模图形设计对应的最优滤波器。研究结果表明,光瞳滤波能大幅度提高投影光刻成像分辨力并增大焦深,是一种比较有效的提高光刻成像分辨力的方法。     

二元光栅照明对光刻系统成象特性的影响

针对光刻系统分辨力和焦深的矛盾,详细研究了二元光栅照明对硅片上光强以及对光刻系统传输频率的影响,结果表明,二元光栅照明可显著提高光强的对比度,改善成象系统的频率传递函数,是一种比较理想的离轴照明技术。