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11.
铝在超大规模集成电路(VLSI)金属化中存在着一系列影响互连可靠性的因素。但是,铝仍是多层互连结构有前途的材料,尤其是用电子束蒸发制作所谓“竹节结构”(bamboo struct)连线获得了理想的结果。在高真空条件下,电子来蒸发耐熔金属可以在相当低的温度下(550～650℃)获得高质量的硅化物层(TiSi_2、CoSi_2),可避免与硅接触的地方产生强应力。用钨作阻挡层和连线比Al更有前途,这首先是因为耐电迁移强度差不多要高两个数量级。对于淀积平整的介质层来说,把蒸气混合物激励淀积到负温度衬底上是有发展前途的工艺。 相似文献
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节约能源、提高能源利用率,是国家经济建设中的重要能源政策。在现有火电厂中,除新装的中间再热大型单元机组外,尚有不少母管制的高、中压电厂,为了提高这些电厂的经济性,除对设备设法改进外,在调峰时负荷如何分配亦是涉及经济性的一个重要问题。 相似文献
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示波器在实验室和工业生产现场得到广泛的应用,但一般的示波器(模拟示波器)无信息存贮、处理和记录打印等功能,很难正确观察和测量各种复杂信号,也不便对波形进行细部分析和存贮打印,而数字示波器价格昂贵。本文介绍一个用普通取样示波器构成的智能化高频信号数字采集系统,该系统能对1000MHz的高频信号进行取样,具有示波器 CRT 显示波形,对CRT上显示波形进行各种数据处理和存贮、数字显示和打印所需测试数据等功能,并具有最简单的人机对话,该系统同时解决了用普通 A/D 转换芯片(转换时间在μ级)对1000MHz 的高频信号取样的问题。 相似文献
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2005年年初,夏新手机似乎一直瑟缩在国产手机整体失利的阴影之下,一切都显得是那么平淡,市场策略低调,新产品推出乏力,在媒体的一片质疑声中,夏新以一种特有的坚韧,始终保持着沉默.但在每一种挫折或不利的突变背后,往往孕育着希望的种子. 相似文献